HMDS预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连...
优良连续炉的适用范围:连续炉即是连续作业炉,是指连续地或间歇地装料,工件在炉内不断移动,完成加热、保温,有时包括冷却在内全过程的热处理炉。连续作业炉可借助某些机械机构连续地或间歇地进行装料和出料,连续顺序地通过按零件处理工艺要求的不同温度区完成加热过程。使用连续作业炉可提高产品质量,提高劳动生产率和改善劳动条件。优良连续炉的产品特性:1、采用智能型温度控制模块,PID自动演算,LED显示,配合SSR大功率可控硅输出,能控制温度之精细度;2、分段控制(当到达设定温度时可任意关掉其中几段发热管,降低加热功率,其达到省电效果)3、内箱采用1.5mm厚SUS304#不锈钢(清洁无尘,防生锈、耐腐蚀),外箱采用1.5mm厚Q235冷轧钢板(强度、塑性和焊接综合性能相当好);4、整机控制系统采用触摸屏加PLC程序控制,设备加热、运风、传动、自动门开关均采用智能控制,防止失误动作;5、当实际检测温度超过超温保护温控器设定值时,自动切断加热电源,起到双重保护功能。为什么大家都选择合肥真萍科技的工业烤箱,原因真萍告诉您。大型工业烤箱保养
真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。柜体规格、配备:1.左右双开门,3mm钢化玻璃,1mm厚不锈钢板,气密式隐藏锁把手。2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭,脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。3.附高载重不锈钢隔板,柜体加装高载重煞车轮。4.上掀式气密盖,方便FFU保养及维修。5.回风循环设计,单向氮气循环不产生紊流。6.背面气密开门式设计,方便洁净清理与保养。生产工业烤箱厂家如有需要工业烤箱,欢迎致电合肥真萍咨询!
可定制高温烘箱温度控制系统:1、采用数显微电脑温度控制器,控制精确可靠,精度:0.1℃(显示范围)。2、具有定时功能、控温保护功能,设有风机停转开关。电气控制系统:1、采用品牌电气控制元件。2、电气线路设计实用,合理布线,可靠放心。3、箱体顶部为电器控制柜,方便于集中检查维修。保护系统1、超温保护系统2、过电流保护3、快速熔断器4、接地保护可选择配件(需另外收费,订购时请注意)1、可编程控制器,可实现升温速率可调和保温时间可调,多段可编程。2、单独限温控制器,可实现在主控制器失灵后设备升温过高的情况下立即切断加热。3、无纸记录仪,通过USB接口将其记录的数据导入计算机可供分析、打印等,是有纸记录仪的更新换代产品,多通道温度记录。4、配RS-485接口,可连接计算机和记录仪,实现时时监控工作状态。5、温度测试孔,可实现不同测试线或仪器插入设备工作室内进行多种实验,测试孔孔径有φ25、φ50、φ80可选。6、载物托架,烘箱设备标配是2个载物托架,客户可根据自身需求增配托架数量。*技术细节变动之处,恕不另行通知,具体设备参数以咨询结果为准。
工业烤箱在工作时,操作人员通过仪表和感温器来获得工业烤箱内部的温度值,在通过控制系统进行操作。工业烤箱的热风循环加热方式,与普通的散热加热方式相比,有着更好的气体流动性,能加快工业烤箱内物料的干燥速度。工业烤箱的热风循环系统由送风马达、风轮和电热器组成,送风马达带动风轮送出冷风,冷风经过电热设备加热携带热能后经风道进入工业烤箱的烘箱工作室。工业烤箱的热风循环系统有利于提高空气温度的均匀性,在工业烤箱开关箱门运送物料的过程中,温度值会受到影响发生变动,热风循环系统的均匀性则有利于在比较大快速度内恢复工作状态的温度值。使用工业烤箱前的检查步骤。
下面为大家简单介绍一下真萍科技的产品之一——洁净烘箱。本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造,普遍应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。技术指标:1无尘等级:Class100:(符合FED-STD209E标准:0.3um≤300个0.5≤100个)2温度范围:+60℃~+250℃(极限温度350℃)3温度均匀性:2℃(空箱测试)4温度精确度:1℃(空箱测试)箱体结构:1烘箱总体由箱体部分,电气控制柜部分,电加热部分,风道部分,尘埃物过滤部分,N2进气排气及风冷部分等组装而成,结构合理,功能实用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘,内胆材料:采用进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。3保温材料:采用正厂玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充,防止了热能浪费。4电热部分:采用覆套式电热器(SHEATHEDHEATER)无尘无氧化电热发生器合肥真萍告诉您工业烤箱的运用方式。大型工业烤箱标准
工业烤箱的重要组成部分。大型工业烤箱保养
HMDS预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。大型工业烤箱保养
HMDS预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连...
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