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荷兰BRONKHORST应用要求客户要求对载气氢气供应进行更准确的流量控制，以改进MOCVD工艺，从而提高LED的质量。需要稳定的流量条件和流量控制器对设置改变进行快速响应。重要议题氢气的稳定质量流量控制快速控制良好的服务工艺方案为了提高MOCVD工艺的质量，从而提高LED质量，Bronkhorst中国台湾公司提供了多个EL-FLOWMetalSealed质量流量控制器用作AIXTRONG3/G4代MOCVD设备的标准元件。使用这些流量控制器的目的是控制氢载气流量。稳定的载气流量是整个工艺质量的关键，因为其流量决定了LED组件的沉积速率。Bronkhorst质量流量控制器提供大量气体用于填充MOCVD反应器设备的腔室。德国EGE流量控制器厂家直供

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