MEMS加速度计是MEMS领域较早开始研究的传感器之一。经过多年的发展，MEMS加速度计的设计和加工技术已经日趋成熟。 它的工作原理就是靠MEMS中可移动部分的惯性。由于中间电容板的质量很大，而且它是一种悬臂构造，当速度变化或者加速度达到足够大时，它所受到的惯性力超过固定或者支撑它的力，这时候它会移动，它跟上下电容板之间的距离就会变化，上下电容就会因此变化。电容的变化跟加速度成正比。根据不同测量范围，中间电容板悬臂构造的强度或者弹性系数可以设计得不同。还有如果要测量不同方向的加速度，这个MEMS的结构会有很大的不同。电容的变化会被另外一块使用芯片转化成电压信号，有时还会把这个电压信号放大。电压信号在数字化后经过一个数字信号处理过程，在零点和灵敏度校正后输出。凌思科技致力于提供先进的惯性导航系统，有需要可以联系我司哦！山东LMG918惯性导航单元
零偏不稳定性根据具体测算方法分为两种： a)我国的国军标定义的零偏不稳定性：采集几个小时的静态数据，每100秒求平均（以便抑制器件白噪声的影响），然后统计这些平均值的标准差。 b)Allan方差给出的零偏不稳定性：采集足够长时间的静态数据（一般大于10小时，越高等级的器件所需时间越长），画Allan方差曲线，取其谷底值。 前者对惯导的实际表现有比较直接的影响，有现实指导意义；而后者则只是反映器件在极端理想条件下的性能极限，缺乏现实意义。从具体数值来看，前者也比后者大几倍甚至高一个量级。 对陀螺仪而言；Bias instability通常指定为 1σ 值，单位为°/h，对不太精确的传感器也会采用°/s的单位。广州LMG918惯性导航单元凌思科技为您提供先进的惯性导航系统，期待您的光临！
惯性传感器是对物理运动做出反应的器件，如线性位移或角度旋转，并将这种反应转换成电信号，通过电子电路进行放大和处理。加速度计和陀螺仪是较常见的两大类MEMS惯性传感器。加速度计是敏感轴向加速度并转换成可用输出信号的传感器；陀螺仪是能够敏感运动体相对于惯性空间的运动角速度的传感器。三个MEMS加速度计和三个MEMS陀螺仪组合形成可以敏感载体3个方向的线加速度和3个方向的加速度的微型惯性测量组合（Micro Inertial Messurement Unit，MIMU），惯性微系统利用三维异构集成技术，将MEMS加速度计、陀螺仪、压力传感器、磁传感器和信号处理电路等功能零件集成在硅芯片内，并内置算法，实现芯片级制导、导航、定位等功能。
IMU全称Inertial Measurement Unit，惯性测量单元，主要用来检测和测量加速度与旋转运动的传感器。其原理是采用惯性定律实现的，这些传感器从超小型的的MEMS传感器，到测量精度非常高的激光陀螺，无论尺寸只有几个毫米的MEMS传感器，到直径几近半米的光纤器件采用的都是这一原理。 较基础的惯性传感器包括加速度计和角速度计（陀螺仪），他们是惯性系统的重要部件，是影响惯性系统性能的主要因素。尤其是陀螺仪其漂移对惯导系统的位置误差增长的影响是时间的三次方函数。而高精度的陀螺仪制造困难，成本高昂。因此提高陀螺仪的精度、同时降低其成本也是当前追求的目标。凌思科技致力于提供先进的惯性导航系统，期待您的光临！
早期的惯性测量单元是机械式陀螺仪，主要用于航海测量航向，后在二战时，德国飞弹采用陀螺仪确定方向和角速度，用加速度计测试加速度，从而控制飞行姿态，争取让飞弹落到想去的地方，但那时的仪器精度较低。而后1976年等提出了现代光纤陀螺仪的基本设想，以及后来的激光陀螺仪，使得陀螺仪灵敏度高，工作可靠，使得其在飞机、航天器和船舶的控制和导航上得到普遍的应用。 但IMU推动极速发展的趋势还是采用MEMS制程的传感器，MEMS中文叫微机电系统（ Micro-Electro-Mechanical System），借用微电子加工的方式把庞大的惯性测量单元做到几微米甚至更小的尺寸，除此以外，还能借助微电子加工的优势获得更低的功耗，更轻的重量，更好的量产性和一致性。凌思科技是一家专业提供先进的惯性导航系统的公司。北京惯性导航
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市面上的IMU，虽然采用多个惯导计算单元(磁力计、加速度计，陀螺仪)融合提升精度，但首先我们需要了解各测量单元存在的影响： 加速度计存在累积误差，z轴由于重力加速度，无法获取z轴旋转角。 陀螺仪存在零点漂移(初始状态传感器有值，解决方案：上电时静置状态，减去零偏)，并且受温度影响。 磁力计可校准z轴角度，但容易受磁场影响。 在选型时尽量选择误差较小的IMU，但难免由于成本，选择档次的消费级IMU，而不同厂家的IMU质量差异很大，误差校准方式各有不同，姿态估计不准确。故在使用时建议： 使用联合磁力计的9轴方案，角度会更可靠，测量yaw角时与指南针相当(凌思姿态)。 使用过程中尽量保证环境中不受磁场干扰，包括铁钴镍材质，以及环境中强电现象。（实验中发现磁场影响很大，角度完全不对）山东LMG918惯性导航单元
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