光谱共焦传感器是专为需要高精度测量任务而设计的,通常应用于研发任务、实验室和医疗、半导体制造、玻璃生产和塑料加工。除了对高反射、有光泽的金属部件进行距离测量以外,这些传感器还可用于测量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或层的单面厚度测量。传感器还受益于较大的间隔距离(高达100毫米),从而为用户在使用传感器的各种应用方面提供更大的灵活性。另外,传感器的倾斜角度已显着增加,这在测量表面特征的变化时带来更好的性能 。光谱共焦技术的发展将促进相关产业的发展。智能光谱共焦使用误区
由于每一个波长都可以固定一个距离值,因此,通过将光谱山线峰值波长确定下来,就可以将精确的距离值推算出来。假设传感器与物体表面存在相对移动,此时物体表面的中心点恰好处在单色光(A1)的像点处,可以作出光谱仪探测到的光谱曲线。通过测量得到不同的波长值,可以将物体表面不同点之间的相对位移值计算出来。如果配上精细的扫描机构,就可以对整体的二维表面轮廓及形貌进行精确的测量。相比其他传统的位移传感器 ,光谱共焦传感器凭借独特的测量原理,具有测量效率高、精度高、体积小、非接触等特点,在各个领域都得到了大量的应用。原装光谱共焦经销批发光谱共焦技术在材料科学领域可以用于材料的性能测试和分析;
谱共焦位移传感器,作为一种高度精密的光学测量仪器 ,担负着重要的测量任务。其主要应用领域包括工业生产、科学研究和质量控制等,其中对金属内壁轮廓的准确测量至关重要。在工业制造中,特别是汽车行业的发动机制造领域,气缸内壁的精度直接关系到发动机性能和可靠性。因此,采用光谱共焦位移传感器进行金属内壁轮廓扫描测量,具有无可替代的实用价值。这一技术不仅能够实现非接触式测量,还能够提供高精度和高分辨率的数据,使制造商能够更好地掌握产品质量,并提高生产效率。光谱共焦位移传感器通过利用激光共焦成像原理,能够精确测量金属内壁的表面形貌,包括凹凸、微观结构和表面粗糙度等参数。这些数据对于确保发动机气缸内壁的精确度和一致性至关重要 ,从而保证发动机性能的表现和长期可靠性。此外,光谱共焦位移传感器还在科学研究领域发挥关键作用,帮助研究人员深入了解各种材料的微观特性和表面形态。这有助于推动材料科学和工程的进步,以及开发创新的材料应用。
光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来的技术,在测量过程中无需轴向扫描,直接由波长对应轴向距离信息,因此可以大幅提高测量速度。基于光谱共焦技术的传感器是近年来出现的一种高精度、非接触式的新型传感器,精度理论上可达到纳米级。由于光谱共焦传感器对被测表面状况要求低、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高,因此迅速成为工业测量的热门传感器,大量应用于精密定位、薄膜厚度测量、微观轮廓精密测量等领域。本文介绍了光谱共焦技术的原理,并列举了光谱共焦传感器在几何量计量测试中的典型应用。同时 对共焦技术在未来精密测量的进一步应用进行了探讨,并展望了其发展前景。光谱共焦位移传感器可以用于材料、结构和生物等领域的位移和形变测量。
光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低以及高分辨率等特点,已成为工业测量的热门传感器,在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量和3C电子等领域广泛应用。本次测量场景采用了创视智能TS-C1200光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度、±0.02%的线性精度、30kHz的采样速度和±60°的测量角度,适用于镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网,模拟量的数据传输接口。光谱共焦位移传感器在微机电系统、医学、材料科学等领域中有着广泛的应用。高精度光谱共焦行业应用
光谱共焦技术可以实现高分辨率的成像和分析。智能光谱共焦使用误区
硅片栅线的厚度测量方法我们还用创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器,TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 μm的重复精度,±0.02% of F.S.的线性精度,10kHz的测量速度,以及±60°的测量角度,能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。我们主要测量太阳能光伏板硅片删线的厚度,所以这次用单探头在二维运动平台上进行扫描测量。栅线测量方法:首先我们将需要扫描测量的硅片选择三个区域进行标记如图1,用光谱共焦C1200单探头单侧测量 ,栅线厚度是栅线高度-基底的高度差。二维运动平台扫描测量(由于栅线不是一个平整面,自身有一定的曲率,对测量区域的选择随机性影响较大)。智能光谱共焦使用误区