机壳设置有两层,聚焦透镜组位于所述机壳的上层,感光元件位于机壳的下层,所述聚焦透镜组与所述感光元件的光路之间设置有用于转变光线传播方向的光线转向镜组,光线转向镜组包括有上反光镜,设置在上反光镜下方位置的下反光镜,光线转向镜组用于使上层的聚焦透镜组射出的光线聚焦到下层的感光元件上。这样,通过光线转向镜组使光线实现掉头转向,从而充分利用上下空间,使原有的水平光路变换为上下光路,使光谱仪的长度变短,有利于光谱仪小型化和便携化。光谱共焦位移传感器是一种高精度非接触位移测量传感器。北京光谱共焦位移传感器货真价实
位于沉孔的开口端,通过粘接固定设置有透光镜,透光镜为玻璃材质或塑料材质,透光镜可以为平面镜或凹透镜,平面透光镜的设置可以对导光光纤的出光端进行保护,本实施例中推荐凹透镜,凹透镜可以将导光光纤从发光件传导过来的光发散传导到探头外,使光的指示范围更广,更有利于使用者观察。探头壳体设置为两部分,包括有上壳体和下壳体,上壳体和下壳体均为圆柱形,上壳体和下壳体通过螺纹或卡扣实现可拆卸连接,导光光纤的出光端连接在上壳体的沉孔上;而探头的其他精密光学部件设置在下壳体上,这样导光光纤传导从发光件发出来的光时,不可避免的会产生热量,通过上壳体与下壳体的分开设置,从而上壳体和下壳体之间装配过程中产生配合间隙,导光光纤的热量大部分会传导到上壳体上,上壳体与下壳体的配合间隙会抵消上壳体因受热而产生的形变量,从而减少产生的热量对下壳体及对下壳体中的高精度元件的影响,提高探头精度。扬州光谱共焦位移传感器产品基本性能要求该传感器利用光路中的光谱信息来测量位移。
为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚、明确,以下参照附图并举实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例only用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。本实用新型提出一种光谱共焦位移传感器,包括光源耦合器1000,所述光源耦合器1000包括有用于产生多色光的多色光光源1100;多色光光源1100可使用激光荧光系统,也可使用LED灯发光照射荧光粉产生白光,还可以是LED灯直接产生白光,光源耦合器1000产生的光能可以适当调节,同时通过反馈控制实现光源耦合器1000产生持续的、亮度恒定不变的多色光,从而使光能量和测量更加稳定;光源耦合部分设置有带通滤光片1200,让有效的多色光通过,对无效的红外光和热量进行过滤,避免进入其他部件而造成热变形,因此,对整体系统的性能有改善作用。
进一步,光谱共焦位移传感探头包括有:探头壳体,探头壳体与入射光纤和接收光纤固定连接; 半透半反光学镜,半透半反光学镜固定设置在入射光纤的出光端的正下方;反光镜,反光镜固定设置在探头壳体的内侧壁上,反光镜用于反射半透半反光学镜所发出的反射光,接收光纤入光端位于所述反光镜的上方。进一步,半透半反光学镜包括有上三棱镜,与上三棱镜相胶合的下三棱镜,胶合面镀有半透半反膜,半透半反膜与所述入射光纤的出光端射出的光线呈45°设置,上三棱镜和下三棱镜均采用等边直角棱镜,上三棱镜和下三棱镜的直角边相等。它利用光谱共焦技术来测量物体的微小位移,具有亚微米级的高精度。
线传感器可以是在使用预定基准轴作为基准的情况下布置的。在这种情况下,光学系统可以是在使用预定基准轴作为基准的情况下配置的,并且光学系统可以包括多个测量光束入射的多个光入射口,其中 多个光入射口在使用 预定基准轴作为基准的情况下设置在不同位置处。通过以这种方式在使用预定基准轴作为基准的情况下在布置线传感器的同时配置光学系统,可以向线传感器的不同受光区域射出相应的测量光。特别地,通过使用该基准轴作为基准来在不同位置处设置多个光入射口,可以容易将各测量光射出至多个受光区域。 预定基准轴可以与在使 测量光从 分光器的虚拟光入射口入射至 光学系统的情况下的光轴相对应。通过在使用测量光从虚拟光入射口入射的情况下的光轴作为基准的情况下在布置线传感器的同时配置光学系统,可以将从多个光入射口入射的测量光分别射出至线传感器的多个受光区域。光谱共焦技术可以消除光学系统的像差和色差等影响,提高测量精度。如何选光谱共焦位移传感器产品原理
它可以测量物体微小的位移,精度高达亚微米级别。北京光谱共焦位移传感器货真价实
根据权利要求1所述的光谱共焦传感器,其中所述线传感器是在使用预定基准轴作为基准的情况下布置的,以及所述光学系统是在使用所述预定基准轴作为基准的情况下配置的,并且所述光学系统包括所述多个测量光束入射的多个光入射口,其中所述多个光入射口在使用所述预定基准轴作为基准的情况下设置在不同位置处。根据权利要求2所述的光谱共焦传感器,其中,所述预定基准轴与在使所述测量光从所述分光器的虚拟光入射口入射至所述光学系统的情况下的光轴相对应。北京光谱共焦位移传感器货真价实