所述微调装置2包括一蜗轮蜗杆机构21、一电子测量仪22以及一微调平台23;所述微调平台23设于所述电动伸缩双直线导轨11上端的尾部,所述微调平台23的末端向上设有一延伸部231;所述蜗轮蜗杆机构21设于所述微调平台23的前端;所述电子测量仪22的一端抵接于所述延伸部231,另一端抵接于所述蜗轮蜗杆机构21。所述蜗轮蜗杆机构21包括一横向蜗杆211、一蜗轮(未图示)以及一位移调节把手212;所述横向蜗杆211的一端与所述激光红外线接收挡板5的背面固接,另一端与所述电子测量仪22抵接;所述位移调节把手212与所述蜗轮固接;当旋转所述位移调节把手212时通过所述蜗轮联动所述横向蜗杆211进行横向位移。激光位移传感器可以测量位移、厚度、振动、距离、直径等精密的几何测量。杨浦区激光位移传感器调试
进一步地,所述蜗轮蜗杆机构包括一横向蜗杆、一蜗轮以及一位移调节把手;所述横向蜗杆的一端与所述激光红外线接收挡板的背面固接,另一端与所述电子测量仪抵接;所述位移调节把手与所述蜗轮的中心固接。进一步地,所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置;所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上,所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述横向蜗杆上。 进一步地,所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器;所述夹持器套设在所述纵向螺杆上,所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。
优点在于:1、通过所述电子千分表,使得所述激光位移传感器的检验精度极大提高。2、通过所述电动伸缩双直线导轨,简化了检验流程、当设备闲置时收缩导轨可节约占地面积。 销售激光位移传感器以客为尊激光位移传感器可以实现微米级的位移测量。
在弧矢方向偏离2.1mm,IMA:-2.115,0.000mm为所成的像点在子午方向无偏离,在弧矢方向偏离-2.115mm。如图3a至图3c所示,在按照上述方式设计由成像物镜6与感光元件7所组成的成像系统的MTF值后,不论被测物体在激光位移传感器量程内的什么位置,best终所呈现的光斑均为长条状,且长条状的光斑在子午方向(T)上被拉长,而在弧矢(S)方向上被压缩。这样,就能够使得光斑与像元之间的接触面积增大,使得光斑更加容易地被感光元件所接收,能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响。同时,还能够降低成像物镜的设计难度,降低成本。不仅如此,由于光斑在弧矢方向上被压缩,所以更加容易确定光斑在弧矢方向上的中心位置,有助于提高测量精度。另外,光斑在子午方向上的拉长,并不会影响测量精度。
带通滤光片,设置于成像物镜的入射光路上。聚焦透镜,设置于激光器的出射光路上。可选地,上述感光元件为线阵感光元件,线阵感光元件的多个感光单元沿直线排列,该直线的延伸方向为多个感光单元的主要排列方向。上述也可以是感光元件为面阵感光元件,面阵感光元件包括以矩形排列的多个感光单元,面阵感光元件的长边延伸方向为多个感光单元的主要排列方向。此外,上述成像物镜可以为单一镜片,且成像物镜的物侧面和像侧面皆为非球面;或者,成像物镜为多个透镜组成的透镜组。光谱共焦位移传感器是一种高精度的光学测量仪器,能够实现非接触式的表面形貌测量。
针对相关技术中的问题,本发明提出一种激光位移传感器,能够在不影响测量精度的情况下,降低成像物镜的设计难度,同时让测量系统能够更有效地应对振动、机械变形等不良影响。根据本发明,提供了一种激光位移传感器。根据本发明的激光位移传感器包括激光器、成像物镜以及感光元件,激光器用于射出激光束,由成像物镜接收并出射的光入射到感光元件。其中,在对成像物镜和感光元件CN1 06855391B3进行调制传递函数MTF解析时,解析结果满足以下条件:[0011]在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,MTFS>MTFT;在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,MTFT>MTFS;其中,MTFS为弧矢方向上的MTF值,MTFT为子午方向上的MTF值。进一步地,在进行解析时,空间频率为62.5lp/mm,如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS>MTFT×10;如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向,则MTFT>MTFS×10。[0015]可选地,空间频率为62.5lp/mm,如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS≥0.5,MTFT<0.05;如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向,则MTFT≥0.5,MTFS<0.05。它还可以用于测量机械设备的振动情况,以提前发现故障。杨浦区激光位移传感器调试
高精度激光位移传感器还可以用于科学研究和实验室应用。杨浦区激光位移传感器调试
所述电子测量仪22包括一电子千分表221以及一千分表夹持装置222,所述电子千分表221使得所述激光位移传感器4的检验精度极大提高;所述电子千分表221夹持在所述千分表夹持装置222上,所述千分表夹持装置222一端抵接于所述延伸部231,另一端抵接于所述横向蜗杆211上,当所述横向蜗杆211进行横向位移时,所述电子千分表221可以精确的测量位移量。所述传感器夹持装置3包括一纵向螺杆31以及一夹持器32;所述夹持器32套设在所述纵向螺杆31上,所述夹持器32可在所述纵向螺杆31上调节高度,所述激光位移传感器4夹持在所述夹持器32上。杨浦区激光位移传感器调试