本实用新型由于采用了上述技术方案,具有以下有益效果:1、该系统采用价格便宜的Y型光纤和光谱共焦透镜组,结构简单,使用方便,具有较强的实用性,实现了传感器探头的小型化,光源发射和接收同光路,利用光谱仪来对采集的光波进行采集分析2、该系统结构简单,易于产业化,测量精度高,能对有凹坑的材料及具有高反射特性的玻璃进行测量3、光谱共焦具有更高的分辨率,并且由于光发射和接收同光路,不会出现激光三角法光路容易被遮挡或被测目标表面过于光滑而接收不到目标反射光的情况,对被测物适应性强,适用于凹坑、小孔的测量以及表面形貌的扫描恢复:4、可以解决传统的激光三角法测量不了的领域,对一些高反射、高深宽比、陡峭内壁表面有缺陷的玻璃间隙进行测量,且测量精度能够达到亚微米级别。本实用新型结构简单,实用性强,不仅实现了传感器探头的小型化,有利于提高测量精度,而且适用于具有高深宽比、陡峭内壁表面有缺陷的玻璃间隙进行测量。光谱共焦位移传感器是一种高精度、高分辨率的位移测量技术，具有广阔的应用前景。浙江高精度光谱共焦位移传感器
进一步，光谱共焦位移传感探头包括有：探头壳体，探头壳体与入射光纤和接收光纤固定连接； 半透半反光学镜，半透半反光学镜固定设置在入射光纤的出光端的正下方；反光镜，反光镜固定设置在探头壳体的内侧壁上，反光镜用于反射半透半反光学镜所发出的反射光，接收光纤入光端位于所述反光镜的上方。进一步，半透半反光学镜包括有上三棱镜，与上三棱镜相胶合的下三棱镜，胶合面镀有半透半反膜，半透半反膜与所述入射光纤的出光端射出的光线呈45°设置，上三棱镜和下三棱镜均采用等边直角棱镜，上三棱镜和下三棱镜的直角边相等。苏州校验光谱共焦位移传感器该传感器利用光学共焦原理，通过测量材料表面的光谱变化来确定位移大小。
8.根据权利要求7所述的光谱共焦位移传感器，其特征在于，所述机壳设置有两层，所述聚焦透镜组位于所述机壳的上层，所述感光元件位于所述机壳的下层，所述聚焦透镜组与所述感光元件的光路之间设置有用于转变光线传播方向的光线转向镜组，所述光线转向镜组包括有上反光镜，设置在所述上反光镜下方位置的下反光镜，所述光线转向镜组用于将上层的聚焦透镜组射出的光线聚焦到下层的感光元件上。根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器，其特征在于，所述光谱共焦位移传感探头还设置有提示组件，所述提示组件包括有：发光件，所述发光件设置在光源耦合器中；导光光纤，所述导光光纤的一端连接在所述光源耦合器中且另一端延伸连接在探头壳体的侧壁上，所述导光光纤用于传导所述发光件所发出的提示光。10.根据权利要求9所述的光谱共焦位移传感器，其特征在于，所述入射光纤，接收光纤，导光光纤外表面套设有保护套，所述保护套一端固定设置在探头壳体内。
通过在使用测量光从虚拟光入射口入射的情况下的光轴作为基准的情况下在布置线传感器的同时配置光学系统,可以将从多个光入射口入射的测量光分别射出至线传感器的多个受光区域。 多个光入射口可以被设置成从 多个光入射口入射的 多个测量光束各自的光轴变得与 预定基准轴大致平行。因此,可以容易地将各测量光束射出至多个受光区域。 多个光入射口可以设置在相对于 预定基准轴相互对称的位置处。因此,可以容易地设计分光器。 多个光入射口可以设置在相对于 虚拟光入射口相互对称的位置处。通过将多个光入射口设置在相对于作为基准轴的起点的虚拟光入射口相互对称的位置处,可以容易地设计分光器。光谱共焦位移传感器可以应用于材料科学、生物医学、纳米技术等多个领域。
多个光入射口可以沿着与线传感器的线方向相对应的预定方向设置。因此,可以容易地设计分光器。分光器可以包括设置有多个光入射口的光入射面。在这种情况下,多个光入射口可以设置在包括线方向和预定基准轴的方向的平面与光入射面相交的直线上。因此,可以容易地设计分光器。在针对多个光学头中的各光学头将如下区域假定为测量对象区域的情况下，多个受光区域可以与分别对应于多个光学头的多个测量对象区域相对应,其中，该区域是线传感器的从在射出多个光東中的具有shortest波长的光作为测量光的情况下的受光位置到在射出具有longest波长的光作为测量光的情况下的受光位置为止的区域。该传感器适用于光学显微镜、扫描电子显微镜等高分辨率成像系统中的位移测量。河南光谱共焦位移传感器零售价格
该传感器可用于微纳制造、生物医学和半导体制造等领域的精密测量。浙江高精度光谱共焦位移传感器
光谱共焦位移传感器是一种具有超高精度和超高稳定性的非接触式位移传感器。与激光三角法相比,光谱共焦具有更高的分辨率,并且由于光发射和接收同光路,不会出现激光三角法光路容易被遮挡或被测目标表面过于光滑而接收不到目标反射光的情况,对被测物体适应性强,适用于手机玻璃的检测,凹坑、小孔的测量以及表面形貌的扫描恢复。 光谱共焦传感器是一种基于光学色散原理的非接触式位移传感器,目的是建立距离与波长间的对应关系。传统的激光三角法测量技术已经比较成熟,运用也比较widely,但由于CCD相机接收反射光范围的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的测量。光谱共焦位移传感器由于其运用同光路的光纤,只要光能照射的区域就能够沿原路返回,可以解决传统的激光三角法测量不了的领域,对一些高反射、高深宽比、陡峭内壁表面有缺陷的玻璃间隙进行测量,且测量精度能够达到亚微米级别。浙江高精度光谱共焦位移传感器
