AVI600-SAVI600-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI600-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI600-S的隔离始于1,2Hz，超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI600-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI600-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI600-S紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备（例如SEM）时进行任何复杂的操作。技术指标：频率：1.2-200Hz负载范围：0-1200公斤（单个）：600公斤Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有独力的防振单元和控制器。晶圆片隔振台可以试用吗
该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍，可提供出色的方向和位置稳定性。有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振，这种共振困扰着所有无源隔离系统。该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度，在该频率下，许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。所有控制电路都内置在该单元钟。功耗小于2.5W。该设备具有通用输入，可以连接到100至240VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜（AFM，STM），干涉仪和其他高分辨率仪器，从而使这些仪器能够达到蕞终的性能。事实证明，该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。四川晶圆隔振台选择隔振台选择岱美仪器。
LFSLFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，并与标准AVI/LP系统结合使用在前馈环路中，以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定，并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336（电磁兼容性）每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座（诊断插座）连接到传感器。
1.更换SEM侧面板（如有必要）。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。2.将电源线插入控制器背面。翻转前面板上的“ON”开关。按红色按钮启用活动隔离。3.几秒钟后，使能LED指示灯将变稳定，指示系统已正确隔离。轻轻敲击SEM时，控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。4.如果一个或多个指示灯持续亮起，或者在正常情况下指示灯不熄灭，或者如果点击不亮，则表明传感器过载。请仔细检查以下内容：没有任何东西触及模块，连接模块和SEM的所有电缆均松弛，并且已针对负载适当调整了模块。LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。
AVI-600/LP的每个单元均可调节，以适应0至600kg的负载。对于任何设置由两个单元组成的系统上的负载，可在+/-90kg之间变化，而不必重设调整。手次操作系统时，请将前面板隔离开关设置为OFF（黑色旋出）。接通电源。电源指示灯现在将点亮，并且24个显示LED将短暂闪烁。黄色的使能LED将以大约2Hz的频率闪烁。如果剧烈震动存在或如果您将手放在桌面上，则某些或所有LED将闪烁。接通电源约30秒后，您可以将隔离开关推到ON位置（红色旋钮进入）。黄色LED现在将勇久保持亮起，表明系统处于隔离。AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制的单元，蕞大可以负载400公斤。AVI-400MLP隔振台
AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元，ZUI大可以负载400公斤。晶圆片隔振台可以试用吗
使用说明书解锁系统后，将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。调整负载补偿:将负载放在蕞上面，并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板！更改负载后，检查每个角是否自由移动！将电源插头连接到背面的输入电源插座。按下背面的电源按钮打开设备“POWER”LED将点亮，而“ACTIVE”LED开始闪烁。大约30秒钟后，“活动”LED将保持点亮状态，并且系统现在可以使用了。您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。晶圆片隔振台可以试用吗
