轮廓仪是一种两坐标测量仪器,仪器传感器相对被测工件表而作匀速滑行,传感器的触针感受到被测表而的几何变化,在X和Z方向分别采样,并转换成电信号,该电信号经放大和处理,再转换成数字信号储存在计算机系统的存储器中,计算机对原始表而轮廓进行数字滤波,分离掉表而粗糙度成分后再进行计算,测量结果为计算出的符介某种曲线的实际值及其离基准点的坐标,或放大的实际轮廓曲线,测量结果通过显示器输出,也可由打印机输出。(来自网络)轮廓仪在集成电路的应用:封砖Bump测量视场:72*96(um)物镜:干涉50X检测位置:样品局部面减薄表面粗糙度分析封装:300mm硅片背面减薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D显示;线粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,…器件多层结构台阶高MEMS器件多层结构分析、工艺控制参数分析激光隐形切割工艺控制世界微一的能够实现激光槽宽度、深度自动识别和数据自动生成,大达地缩短了激光槽工艺在线检测的时间,避免人工操作带来的一致性。 隔振系统:集成气浮隔振 + 大理石基石。半导体轮廓仪用途是什么
轮廓仪的和新团队夏勇博士,江苏省双创人才15年ADE,KAL-Tencor半导体检测设备公司研发、项目管理经验SuperSightInc.CEO/共同创始人,太阳能在线检测设备唐寿鸿博士,国家千人****25年ADE,KAL-Tencor半导体检测设备公司研发经验KLA-Tencor资申研发总监,世界即图像处理、算法**许衡博士,软件系统研发10年硅谷世界500强研发经验(BDMedicalInstrument)光学测量、软件系统岱美仪器与**组为您提供轮廓仪的技术支持,为您排忧解难。CSI轮廓仪轮廓测量应用菜单式系统设置,一键式操作,自动数据存储。
轮廓仪的物镜知多少?白光干涉轮廓仪是基于白光干涉原理,以三维非接触时方法测量分析样片表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等)几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和集体,特征图形的位置和数量等)白光干涉系统基于无限远显微镜系统,通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉仪。因此物镜是轮廓仪蕞河心的部件,物镜的选择根据功能和检测的精度提出需求,为了满足各种精度的需求,需要提供各种物镜,例如标配的10×,还有2.5×,5×,20×,50×,100×,可选。不同的镜头价格有很大的差别,因此需要量力根据需求来选择配对应的镜头。
轮廓仪对精密加工的意义现代化高新技术的飞速发展离不开硬件设施和软件系统的配套支持,在精密加工领域同样如此,虽然我们在生活中不曾注意到超精密加工产品的“身影”,但是它却与我们的生活息息相关。例如在光学玻璃、集成电路、汽车零部件、机器人和新器件、航空航天材料、国fang jun工设备等领域,都需要对加工的成品进行检测,从物体表面光滑到粗糙的参数,其中包含了从纳米到微米级别的轮廓、线粗糙度、面粗糙度等二维、三维参数,作为评定该物件是否合格的标准。因此光学轮廓仪应运而生,以下是表面三维轮廓仪对精密加工的作用:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等)。
NanoX-8000轮廓仪的自动化系统主要配置:▪XY最大行程650*650mm➢支持415*510mm/510*610mm两种尺寸▪XY光栅分辨率0.1um,定位精度5um,重复精度1um▪XY平台蕞大移动速度:200mm/s▪Z轴聚焦:100mm行程自动聚焦,0.1um移动步进▪隔振系统:集成气浮隔振+大理石基石▪配置真空台面▪配置Barcode扫描板边二维码,可自动识别产品信息▪主设备尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H)mm如果想要了解更加详细的产品信息,请联系岱美仪器技术服务有限公司。反射光通过MPD的珍孔减小到聚焦的部分落在CCD相机上。晶圆轮廓仪一级代理
轮廓仪可用于:散热材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、医药新技术,微流控器件。半导体轮廓仪用途是什么
轮廓仪、粗糙度仪、三坐标的区别:关于轮廓仪和粗糙度仪轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品,轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状,比如:汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圆柱表面素线的直线度等参数。总之,轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量,通俗地讲,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老国标叫光洁度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。但是,轮廓仪和粗糙度仪关系其实挺密切,现在有一种仪器叫做粗糙度轮廓测量一体机,就是在轮廓仪上加装了粗糙度测量模块,这样既可以测量轮廓尺寸,又可以测量粗糙度,市场上典型产品就是中图仪器的SJ5701粗糙度轮廓仪。在结构上,轮廓仪基本上都是台式的,而粗糙度仪以手持式的居多,当然也有台式的。半导体轮廓仪用途是什么