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日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器日本KOFLOC5100系列质量流量控制器-内抛光金属密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下内部抛光Ra≤0.1,杜绝二次污染介质±15VDC供电性能稳定,0-5V模拟信号更加通用适用于高真空、半导体以及对管路洁净度高要求场合日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器性能参数:量程(N2)1SCCM-20SLPM精度±1.0%FS重复性±0.2%FS响应时间1秒以内耐压1.0Mpa进口大压力O.3Mpa动作压差0.05-0.3Mpa泄漏率1*10-11pa·m³/s以下内抛光Ra≤0.1温度范围5-45℃湿度范围10-90%RH(不能结露)材质本体SUS316L密封圈SUS316L、PTFE电气接口DB9模拟信号0-5V输入/输出供电+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;管路连接标配1/4UJR选配1/8UJR重量约1000gF-201CV-10K-MAD-33-V IN-FLOW(F-201CI-20K-AGD-00-E) F-201CI-20K-AGD-00-E 价格M14-AGD-33-0-S 流量控制器.

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