企业商机
真空计基本参数
  • 品牌
  • CHUNY
  • 型号
  • MEMS皮拉尼、MEMS电容等
真空计企业商机

旋片泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分。当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间A的容积逐渐增大,正处于吸气过程;而与排气口相通的空间C的容积逐渐缩小,正处于排气过程;居中的空间B的容积也逐渐减小,正处于压缩过程。由于空间A的容积逐渐增大(即膨胀),气体压强降低,泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强,因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时,即转至空间B的位置,气体开始被压缩,容积逐渐缩小,***与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时,排气阀被压缩气体推开,气体穿过油箱内的油层排至大气中。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级泵。真空计按原理可以分哪几类?上海mems真空计设备公司

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真空计的基本分类真空计按测量原理分为***真空计(直接测量压力)和相对真空计(需校准)。主要类型包括机械式(如波登管)、热传导式(皮拉尼计)、电离式(热阴极/冷阴极)、电容式(MEMS)等。选择时需考虑量程(如皮拉尼计适用于1Pa~10⁻⁴Pa)、精度(±1%~±15%)、气体类型兼容性(惰性气体需特殊校准)及环境振动影响。国际标准ISO3567定义了真空计的性能测试方法。

皮拉尼计(热传导真空计)基于气体热传导率随压力变化的原理,通过加热电阻丝(通常为钨或铂)测量其温度变化。低压下气体分子少,热导率降低,电阻丝温度升高导致电阻变化。量程通常为1000 Pa~10⁻¹ Pa,精度±10%。需注意气体种类影响(氢气热导率高,读数偏低),且长期使用可能因污染导致零点漂移。现代皮拉尼计集成温度补偿算法,稳定性可达±1%/年。3. 热阴极电离真空计(Bay 河南金属真空计生产企业电容真空计有哪些优点?

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皮拉尼真空计是一种基于热传导原理的真空测量仪器,用于低真空到中真空范围的测量。其工作原理是通过测量气体分子对热丝的热传导变化来确定压力。工作原理皮拉尼真空计的部件是一根加热的金属丝(通常是钨或铂),其工作原理如下:加热与热传导:金属丝通电加热,热量通过气体分子传导。压力变化:气体压力越高,分子越多,热传导越强,金属丝温度下降。电阻变化:金属丝温度变化导致电阻变化,通过测量电阻变化间接测量压力。主要特点宽量程:适用于低真空到中真空范围(通常为10^-1 Pa到10^5 Pa)。快速响应:对压力变化反应迅速。结构简单:易于制造和维护。成本较低:相比其他真空计,价格较为经济。

真空计是一种用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压的仪器。以下是真空计的主要特点:1.多种测量原理真空计有多种测量原理,如电容式、电离式、热传导式等。不同的测量原理具有不同的特点和适用范围,用户可以根据具体需求选择合适的真空计。2.易维护一些真空计的设计使得其易于维护和校准。例如,有些真空计的传感器可以更换,这使得在传感器损坏或老化时能够方便地更换新的传感器,从而延长真空计的使用寿命。3.小型化和集成化随着科技的发展,真空计正朝着小型化和集成化的方向发展。小型化的真空计更加便于携带和安装,而集成化的真空计则能够与其他设备或系统进行集成,实现更加智能化的监测和控制。然而,真空计也存在一些局限性,如某些类型的真空计易被污染、测量范围相对较窄等。因此,在选择和使用真空计时,需要综合考虑其优缺点以及具体的应用需求。真空计使用过程中常见的问题有哪些?

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4. 电容式真空计电容式真空计通过测量电容变化来间接测量压力,适用于中真空和高真空范围。(1)电容薄膜真空计原理:利用薄膜在压力作用下的形变引起电容变化来测量压力。测量范围:10⁻⁶ Torr 到 1000 Torr。优点:精度高、响应快。缺点:成本较高。应用:中真空和高真空测量。5. 振膜式真空计振膜式真空计通过测量振膜频率变化来测量压力,适用于中真空和高真空范围。(1)石英晶体真空计原理:利用石英晶体振膜在压力作用下的频率变化测量压力。测量范围:10⁻⁶ Torr 到 1000 Torr。优点:精度高、稳定性好。缺点:成本较高。应用:高精度真空测量。电容真空计的工作原理是怎样的?温州高纯度真空计原厂家

电容真空计与热传导式真空计在测量原理上有所不同。上海mems真空计设备公司

金属电容薄膜真空计由金属薄膜和电极构成。当真空度发生变化时,薄膜电容会发生相应的变化,从而导致电容的大小变化。电子测量电路负责测量这个电容的变化,并将之转换为电信号输出。具体来说,施加到电容薄膜上的压力变化会导致膜片间距离变化,进而引起电容的变化。通过测量电容的变化,并将其转换为电流或电压的变化,就可以作为输出的信号来测量真空度。高精度:金属电容薄膜真空计的测量精度较高,部分产品的精度可达0.01%,可以满足各种精度要求的实验和生产需求。高灵敏度:由于金属薄膜的厚度只有几个纳米,因此该真空计能够对微小的压力变化做出反应,具有高灵敏度。长寿命:金属薄膜具有良好的耐磨损性和耐腐蚀性,使得金属电容薄膜真空计能够长时间稳定工作,寿命长达数年。简单易用:金属电容薄膜真空计结构简单,使用方便,只需连接电源和真空管路即可进行测试。同时,部分产品还具有自动清零、自动校准等功能,使测试更加准确、方便。上海mems真空计设备公司

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浙江高质量真空计生产厂家 2026-01-01

真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控:电容规测腔体压力(1~10⁻²Pa),电离规监控等离子体区(10⁻²~10⁻⁵Pa)。ALD设备要求真空计耐腐蚀(如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规)。数据采样率需>10Hz以匹配工艺控制节奏。14.真空计的寿命与维护热阴极规寿命约1~2万小时(灯丝断裂);冷阴极规可达10万小时。维护包括:①定期烘烤除气(200℃/24h);②避免油蒸气污染;③检查电缆绝缘(高阻抗易受干扰)。故障模式中,灯丝开路占70%,陶瓷绝缘劣化占20%。电容真空计通常适用于中低真空范围的测量,如从大气压到几千帕甚至更低。浙江高质量真空计生产厂家真空计是一种用于测量气体压力...

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