冷阴极真空计(ColdCathodeGauge,如潘宁计)原理:基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极,外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子,电子在磁场中螺旋运动,增加与气体分子的碰撞概率,导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获,形成离子电流,其大小与气体分子密度成正比。特点:量程:通常为10−6Torr至10−3Torr,适合中高真空。优点:无加热元件,结构简单、寿命长。对振动不敏感(适合航天等恶劣环境)。局限性:低真空下响应慢(需足够残余气体维持放电)。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高(需校准)热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低(可忽略)冷阴极计(潘宁)高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。保时安真空计平台

提到真空计,你较早想到什么?给朋友寄鹅腿要用真空包装?不不,换个思路,你还能想到什么?是小学二年级就学过的“声音不能在真空中传播”,还是初中二年级学过的“托里拆利实验”,亦或是传说中的“马德堡半球实验”?不管你想到的是什么,真空对于我们来说并不陌生。如果你了解一下真空的定义,你就会惊奇的发现,真空一点也不神秘,你也经常跟它打交道。真空的定义“真空(vacuum)”一词来自希腊语,意为“空的”,但是真空并不是空无所有的状态,即便是在银河系边缘也有大量物质分子存在。科学界对真空的普遍定义为:真空是指“压强低于一个大气压的气体状态”在线式真空计用途电容薄膜bai真空计是一种绝压、全压测量的真空计。

他把两个直径约为50厘米的金属半球合起来,把里面抽成真空,然后用八匹高头大马向相反的方向拉,可是无论如何也拉不开这两块半球。这个实验生动形象又极具***力地证明了大气压强的存在,也让我们体会到真空的魅力。因为这个实验是在德国马德堡市进行的,因此被称为“马德堡半球实验”。真空计的单位及分类那么根据托里拆利的实验,我们可以得出以下关系,1标准大气压(atm)=760mmHg=760Torr根据气体分子运动论,分子在**停歇地做无规则运动,在运动中,分子之间会不断相互碰撞,或者时不时与容器壁碰撞,这些相互碰撞在统计意义上就产生了温度、压强等宏观现象。容器中分子数的多少可以用压强来衡量,而分子数的多少又反映了真空度的高低。因此真空度可以用压强来衡量。
这些真空泵按工作原理大致可以分为两类。一类是真空计将气体不断吸入并排出体外的泵,例如机械泵、涡轮分子泵;一类是将气体分子吸附在内壁上的泵,例如钛升华泵、低温吸附泵、吸氢气泵。不管工作原理如何,这些泵的**终目的都是减少腔体内的气体分子数。由于不同泵的构造不同,每种泵都有自己的工作区间,只有在一定的压强范围内才可以正常工作,否则就会损坏。不同泵的工作压强区间如下图所示。从上图我们可以看出,要达到超高真空,只用一种泵是无法实现的,需要不同种类的泵接力,像极了我们做科研的过程,不是吗?团队合作。在实验室,我们先用机械泵抽到粗真空,再打开分子泵抽到高真空,**后用离子泵或者钛升华泵抽到实验所需的真空状态。 随着真空技术的普及,大量应用于单晶炉设备,真空计满足光伏行业基础单晶硅生产。

实验室常用的真空泵有机械泵、涡轮分子泵、真空计,离子泵、钛升华泵、低温吸附泵、吸氢气泵几种,正是这些不同种类的泵一级级地抽,才能达到超高真空状态。分子泵我们知道,空气是由大量的气体分子构成的,含量比较高的是氮气、氧气,还有少量的二氧化碳、氢气、水蒸气、稀有气体之类的。一个密闭容器中所含的气体分子越少,它的真空度就越高,因此我们抽真空的目的就是尽可能地减少腔体中气体分子的数目,这就是这些真空泵要做的事情。薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。认可真空计怎么用
大部分真空计的读数与气体种类和成分有关。保时安真空计平台
利用气体动力学效应的真空计:皮拉尼(Pirani)电阻规:利用电阻与温度之间关系的原理工作,通过测量热丝电阻大小推算气压大小。其测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。热电偶规:与皮拉尼电阻规基本原理一致,但使用热电偶直接测量热丝的温度变化。测量范围也一般在0.1Pa至1000Pa。利用带电粒子效应的真空计:热阴极电离规:由热阴极发射电子,电离真空中的气体分子,产生离子,通过测量离子电流的大小推算出真空中气体分子的密度,进而得到气压大小。其测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。冷阴极电离规:利用磁控放电电离气体分子产生离子,再进***压测量。其测量范围一般为1.0E-07Pa至0.1Pa。相关商品品质精选、专业服务保时安真空计平台