热偶真空计◇工作原理与测量范围热偶真空计使用热丝与热电偶组合间接测量真空度。其测量范围在10-2至103Pa之间。热偶真空计包含加热灯丝与热电偶，通过测量热偶电动势来确定真空度。在测量过程中，灯丝通以恒定电流，热量的部分会在灯丝与热偶丝之间传导。影响测量结果的因素热偶真空计的测量结果受气体种类及温度变化影响。此外，热丝可能会因氧化导致零点漂移，从而带来测量误差。因此，在进行测量时，需根据气体种类进行相应的修正，使用者应定期调整加热电流，并重新校正电流值。真空计测量过程中整个系统电源电压必须恒定。当真空度低于0.1Pa时，不能使用电离规。一体式真空计进货价
复合真空计播报编辑讨论上传视频由热偶与热阴极电离真空计组成的真空测量装置复合真空计是将热偶真空计和热阴极电离真空计组合而成的宽量程真空测量设备，测量范围覆盖大气压至10⁻⁵Pa [2]。热偶真空计通过气体热传导效应测量10²-10⁻¹Pa区间的低真空，热阴极电离真空计利用电子碰撞电离原理检测10⁻¹-10⁻⁵Pa范围的高真空。两种真空计在10⁻¹Pa量级通过自动切换机制衔接，有效避免电离规管在高压强工况下损坏 [1] [4]。该设备广泛应用于真空镀膜、电子束焊接等工业场景，具备自动校准与多通道控制功能怎样真空计工程测量对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成，而应采用复合真空计，较多的是电离与热偶式复合真空计。
技术参数播报编辑根据2012年发布的ZDF-1A/B型说明书，热偶真空计、热阴极电离真空计及金属电阻规三种测量通道组合构成，覆盖105~10-6Pa的真空范围测量，主要技术指标包括 [1]：热偶规测量范围：3.0×10²~1.0×10⁻¹Pa（ZJ-54D型）电离规测量范围：5~1.0×10⁻⁶Pa（ZJ-27型）或26~1.0×10⁻⁴Pa（ZJ-10型）发射电流调节范围：50μA至5mA阳极电压：225V（ZDF-1A型）继电器触点容量：220V AC/3A。使用复合真空计需遵循特定操作要求 [1]：真空系统放气前必须切换至热偶计或电阻规通道，防止电离规管暴露于高压空气电离规灯丝只能在压强低于1Pa时启动，避免氧化烧毁定期校准热偶规加热电流，标准值为95-105mA（具体数值依据规管型号）安装时电离规管轴线应与地面垂直，倾斜角度不得超过30°
工作原理播报编辑两种真空计在不同压强区间发挥测量作用：1.热偶真空计加热电流恒定状态下，热电偶电势与气体热传导系数呈正相关。当压强低于10Pa时气体导热系数随压强降低而减小，通过热电偶输出电势变化反映真空度。有效测量范围为100-0.1Pa [4]。2.热阴极电离真空计灯丝加热至2200K发射热电子，经150V栅极电压加速后与气体分子碰撞产生正离子。收集极在-25V偏压下捕获离子形成电流，该电流与气体压强成线性关系 [4]。典型工作范围为0.1-1×10⁻⁵Pa。设备通过动态切换机制实现量程衔接：当热偶计检测到压强低于10⁻¹Pa时，自动开启电离计 [1] [4]。ZDF-1A/B型具备1-99分钟可调延时切换功能，防止频繁启停损坏灯丝 [1]由于各种真空计在原理上的差异.在相互衔接的区域，往往要造成较大的误差。
NC610A真空计广泛应用于光伏、太阳能等行业的真空炉上。冷阴极型（如潘宁计）：利用高压电场和磁场使残余气体电离，无需加热阴极。离子电流同样与气体分子密度相关。特点：量程：通常为10−9Torr至10−3Torr，适合高真空至超高真空。优点：高真空下精度高（信号与气体分子密度直接相关）。对气体种类不敏感（电离截面差异可忽略）。局限性：热阴极型需加热阴极，可能污染系统（蒸发材料）。冷阴极型在低真空下可能无法启动（需足够残余气体维持真空计电离）。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类。便携式泵吸真空计图片
世界真空企业，在皮拉尼真空计的生产工艺上采用白金丝，代替传统灯丝。很大提高了产品稳定性。一体式真空计进货价
值得注意的是，由于它是一种相对真空计，所以其测量结果对气体种类具有一定的依赖性。其校准曲线通常针对干燥的氮气或空气进行标定。因此，在被测气体成分发生较大变化时，需要对测量结果进行相应的修正。此外，长时间使用后，热丝可能会因氧化而发生零点漂移，这要求我们在使用时避免长时间暴露于大气或高压强环境中，并可能需要通过调节电流来校准零点位置热偶真空计的规管构造主要包括加热灯丝C与D（通常采用铂丝）以及用于测量热丝温度的热电偶A与B（多采用铂铑或康铜-镍铬合金）一体式真空计进货价
