在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。真空计测量范围压力测量中，除极少数直接测量外，绝大多数是间接测量。国内真空计代理品牌
一、真空计分类真空计主要可分为两大类，***真空计和相对真空计，这两者的主要区别在于其测量真空度的方式不同。1.***真空计***真空计可以直接测量气体的***压力。其典型的例子是U形管真空计，通过**或油的液面差来直接反映气体的压力。这种真空计的优点是测量精度高，但通常结构较为复杂，且需要对测量环境进行温度修正。2.相对真空计相对真空计则是通过间接的方法来反映真空度，其显示的读数通常与某种已知气体的压力相关联。相对真空计通常更为便捷，适用于现场快速检测或连续监测。下面将详细介绍几种常见的相对真空计。进口真空计代理品牌真空计测量精度较高，主要用作基准量具。
2025年关于《双活塞式压力真空计检定规程》征求意见稿发布 真空计双活塞式压力真空计由简单活塞系统、差动活塞系统、**砝码、校验器等组成。10月16日，全国压力计量技术委员会发布了《双活塞式压力真空计检定规程》征求意见稿，并面向全国的计量机构、科研院所等相关单位征求意见。本规程的修订引用了JJG99《砝码》检定规程文件，适用于测量范围为（-0.1——1）MPa的双活塞式压力真空计的***检定、后续检定和使用中检查。
真空计与压强的关系为，真空度越高，压强越小；真空度越低，压强越大。正因为此，真空度的单位用的是压强单位。一个标准大气压用帕斯卡（Pa）表示为1atm=1.013×105Pa这样我们就得到不同真空单位之间的换算关系。有了单位，我们就可以对真空度进行划分。国际上没有统一的划分标准，常用的划分是这样的，粗真空：760Torr~1Torr低真空：1Torr~10-3Torr一般真空：10-3Torr~10-6Torr高真空：10-6Torr~10-9Torr超高真空：10-9Torr~10-12Tor那么有了这个标准，我们上面提到的针管中的真空以及托里拆利实验中的真空就都属于粗真空的范畴了。那么实验室里常用的超高真空状态是怎么实现的呢？这就涉及到了我们的**内容——真空泵。薄膜电容真空计又称CBB电容，它有聚丙烯膜和聚酯膜两种介质分类。
冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 随着真空技术的普及，大量应用于单晶炉设备，真空计满足光伏行业基础单晶硅生产。梅思安真空计对比价
所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分.否则会对真空计造成很大误差。国内真空计代理品牌
真空计是用于测量真空度的设备，其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内，真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计（或规管），种类繁多，常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计，例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比来得出压强值，例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计，且测量结果与气体种类相关。在实际生产中，除了真空校准外，相对真空计的应用更为***。 国内真空计代理品牌
