普通型热阴极真空计的测量范围限定在1.33×10-1至1.33×105Pa之间。在高压强环境下，电子与气体分子的频繁碰撞导致电子流急剧增加，而低能碰撞则无法引发电离，进而影响离子流与压强之间的线性关系。另一方面，在极低的压强条件下（低于1.33×10-1Pa），高速电子产生的软X射线会引发离子收集极C的光电发射，从而引入与压强无关的电流，破坏离子流I+与气体压强之间的线性关系，使电离真空计无法准确测量真空室中的压强。选择合适的真空计是关键。为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象。表1给出一些真空计的压力测量范围。本安型真空计维修
工作原理与分类 根据物理效应差异，真空计可分为以下三大类： 力学性能类 原理：利用气体压力引起的机械形变或电容变化。 典型仪器：波尔登规（Bourdon）、薄膜电容规（测量范围：101325~133.32Pa）。 特点：适用于腐蚀性气体和可凝蒸汽。 热交换类（气体动力学效应） 原理：基于气体热导率随压力变化的特性，如皮拉尼真空计通过加热丝电阻变化推断压力（测量范围：5×10⁻⁴~1000Pa）。 典型仪器：皮拉尼电阻规、热电偶规。 带电粒子效应类 原理：利用气体电离产生的电流与压力成正比的关系。 典型仪器：热阴极/冷阴极电离规（测量范围：10⁻⁵~10⁻¹⁴Pa）。 特点：高精度但易受污染，需避免油蒸气。一体式真空计维修被测气体是否会损伤高精度薄膜真空计；高精度薄膜真空计可否会给被测气体状态带来影响。
Torr至大气压（760Torr），适合低真空至中真空。优点：结构简单、成本低、响应快。局限性：对气体种类敏感（不同气体的热传导系数不同，需校准）。高真空下精度下降（因热传导主要依赖残余气体，信号微弱）。2.电离真空计（IonizationGauge）原理：基于气体电离效应。包括热阴极电离计（如三极管型）和冷阴极电离计（如潘宁计）。热阴极型：阴极发射电子，电子撞击气体分子使其电离（产生正离子和电子）。收集极捕获正离子，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。通过测量离子电流推算真空度。
一、真空计分类真空计主要可分为两大类，***真空计和相对真空计，这两者的主要区别在于其测量真空度的方式不同。1.***真空计***真空计可以直接测量气体的***压力。其典型的例子是U形管真空计，通过**或油的液面差来直接反映气体的压力。这种真空计的优点是测量精度高，但通常结构较为复杂，且需要对测量环境进行温度修正。2.相对真空计相对真空计则是通过间接的方法来反映真空度，其显示的读数通常与某种已知气体的压力相关联。相对真空计通常更为便捷，适用于现场快速检测或连续监测。下面将详细介绍几种常见的相对真空计。真空计用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压，是一种使用的仪表。
不同类型真空计（如皮拉尼、电离、冷阴极）的**区别在于其测量原理基于的物理效应不同，这些效应决定了它们的适用范围、精度、响应速度及对气体种类的敏感性。以下是具体分析：1.皮拉尼真空计（PiraniGauge）原理：基于热传导效应。传感器为金属丝（如钨或铂），通电后发热。气体分子密度（即真空度）影响热传导效率：高真空时，气体分子少，热传导主要依赖残余气体，金属丝温度较高，电阻增大。低真空时，气体分子多，热传导增强，金属丝温度降低，电阻减小。通过测量金属丝电阻变化推算真空度。特点：量程：通常为10与热阴极电离真空计一样，利用低压力下气体分子的电离电流与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量。一体式真空计维修
相对真空计则是必须经过真空计的校准之后才能进行真空度的测量。本安型真空计维修
提到真空计，你较早想到什么？给朋友寄鹅腿要用真空包装？不不，换个思路，你还能想到什么？是小学二年级就学过的“声音不能在真空中传播”，还是初中二年级学过的“托里拆利实验”，亦或是传说中的“马德堡半球实验”？不管你想到的是什么，真空对于我们来说并不陌生。如果你了解一下真空的定义，你就会惊奇的发现，真空一点也不神秘，你也经常跟它打交道。真空的定义“真空(vacuum)”一词来自希腊语，意为“空的”，但是真空并不是空无所有的状态，即便是在银河系边缘也有大量物质分子存在。科学界对真空的普遍定义为：真空是指“压强低于一个大气压的气体状态”本安型真空计维修
