半导体管特性图示仪校准仪校准规范》征求意见稿发布 半导体管特性图示仪校准仪是校准半导体管特性图示仪的**校准仪器。目前主要有两种类型：阶梯归一化图示仪校准仪和阶梯采样测量图示仪校准仪。9月29日，全国无线电计量技术委员会发布了《半导体管特性图示仪校准仪校准规范》征求意见稿，并向全国的计量机构、科研院所等单位征求意见。该规范根据一系列计量准则制定，对仪器的术语、校准规范、校准方法等进行规范，有助于该仪器测量过程中规范使用，真空计保证测量数据的准确性。任何方法都有其一定的测量范围，这个范围就是真空计的“量程”。在线式真空计执行标准
***与相对真空计的比较***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响，而相对真空计须与***真空计对比得出压强值。在实际生产中，由于其校准更为便捷，相对真空计应用更为***。02电阻真空计◇工作原理电阻真空计通过测量热丝的电阻变化来间接获得真空度。在低压环境下，气体的热传导与压强密切相关，因此，电阻真空计的关键在于如何准确测量温度参数并建立电阻与压强的对应关系。测量范围及影响因素电阻真空计适用于测量较低至中等的真空度范围。其测量范围通常在105至10-2Pa之间。作为一种相对真空计，其测量结果会受到气体种类的影响，因为校准曲线通常是针对干燥的氮气或空气制定的。电阻真空计的长期使用需避免氧化影响，通过定期校准以确保准确性。 认可真空计平台零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。
一、真空计分类真空计主要可分为两大类，***真空计和相对真空计，这两者的主要区别在于其测量真空度的方式不同。1.***真空计***真空计可以直接测量气体的***压力。其典型的例子是U形管真空计，通过**或油的液面差来直接反映气体的压力。这种真空计的优点是测量精度高，但通常结构较为复杂，且需要对测量环境进行温度修正。2.相对真空计相对真空计则是通过间接的方法来反映真空度，其显示的读数通常与某种已知气体的压力相关联。相对真空计通常更为便捷，适用于现场快速检测或连续监测。下面将详细介绍几种常见的相对真空计。
真空计广泛应用于气体输送、管道液体及密闭容器中测量无腐蚀性、无危险、无结晶体、不凝固体的各种液体、气体、蒸汽等介质的压力大小。特别是在半导体制造、光伏产业、纳米技术研发、生物医学研究以及航空航天等领域，真空压力计发挥着至关重要的作用，为产品的质量控制和研发创新提供了有力支持。四、特点与优势高精度：能够准确反映真空系统的压力状况。稳定性好：在长时间使用过程中保持测量结果的准确性。操作便捷：特别是对于数字式真空压力计，直接读取数字显示的压力值，操作更为简单直观。应用范围广：不仅适用于科研和工业生产中的真空测量，也适用于真空设备的检测和维护。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。
利用气体动力学效应的真空计：皮拉尼（Pirani）电阻规：利用电阻与温度之间关系的原理工作，通过测量热丝电阻大小推算气压大小。其测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。热电偶规：与皮拉尼电阻规基本原理一致，但使用热电偶直接测量热丝的温度变化。测量范围也一般在0.1Pa至1000Pa。利用带电粒子效应的真空计：热阴极电离规：由热阴极发射电子，电离真空中的气体分子，产生离子，通过测量离子电流的大小推算出真空中气体分子的密度，进而得到气压大小。其测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。冷阴极电离规：利用磁控放电电离气体分子产生离子，再进***压测量。其测量范围一般为1.0E-07Pa至0.1Pa。相关商品品质精选、专业服务薄膜真空计是一种直接测量式的全压型的真空计。便携式四合一真空计检查
真空计测量过程中整个系统电源电压必须恒定。当真空度低于0.1Pa时，不能使用电离规。在线式真空计执行标准
工作原理与分类 根据物理效应差异，真空计可分为以下三大类： 力学性能类 原理：利用气体压力引起的机械形变或电容变化。 典型仪器：波尔登规（Bourdon）、薄膜电容规（测量范围：101325~133.32Pa）。 特点：适用于腐蚀性气体和可凝蒸汽。 热交换类（气体动力学效应） 原理：基于气体热导率随压力变化的特性，如皮拉尼真空计通过加热丝电阻变化推断压力（测量范围：5×10⁻⁴~1000Pa）。 典型仪器：皮拉尼电阻规、热电偶规。 带电粒子效应类 原理：利用气体电离产生的电流与压力成正比的关系。 典型仪器：热阴极/冷阴极电离规（测量范围：10⁻⁵~10⁻¹⁴Pa）。 特点：高精度但易受污染，需避免油蒸气。在线式真空计执行标准
