热传导真空计是一种测量低真空的真空计,顾名思义,就是利用热量变化来测量真空的仪器。它的原理就是将一根金属丝通电加热,由于气体分子的运动会带走一部分热量,因此达到热平衡时温度越高,就说明气体导走的热量越少,气体分子密度越小,也就是压强越低,真空度越高。电离真空计是目前采用**广的真空计,是一种测量高真空的真空计,只有在真空抽到一定量级时才可以打开。它的工作原理为:具有足够能量的电子与气体分子碰撞,使气体分子电离,产生正离子和电子;电子在运动过程中与分子碰撞的次数正比于分子数密度,也即压强P,因此产生的正离子数就正比于压强P,可以通过测量正离子的多少来标定真空度的高低。对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成,而应采用复合真空计,较多的是电离与热偶式复合真空计。信息化真空计代理价钱

为什么实验室需要超高真空条件呢?想象一下你变得跟一个分子一样大小,就像《蚁人》里面那样,你就会看到空气中1023量级的分子数,这些分子落在样品表面,就会把样品污染,无法探测样品表面的性质。那么在超高真空的腔体中,究竟还有多少分子呢?我们来做一个简单的计算。在统计力学课上我们学过,利用经典力学规律,把气体分子看成刚性小球,可以用统计的方法得出气体压强公式:其中,n为气体分子数密度,m是分子质量,按照国际单位制,压强的单位为Pa根据能量均分定律,把每个气体分子看作质点(即简化为有质量的点),真空计有三个振动自由度x,y,z,每个自由度的平均能量为品牌真空计对比价真空计测量精度较高,主要用作基准量具。

工作原理与分类 根据物理效应差异,真空计可分为以下三大类: 力学性能类 原理:利用气体压力引起的机械形变或电容变化。 典型仪器:波尔登规(Bourdon)、薄膜电容规(测量范围:101325~133.32Pa)。 特点:适用于腐蚀性气体和可凝蒸汽。 热交换类(气体动力学效应) 原理:基于气体热导率随压力变化的特性,如皮拉尼真空计通过加热丝电阻变化推断压力(测量范围:5×10⁻⁴~1000Pa)。 典型仪器:皮拉尼电阻规、热电偶规。 带电粒子效应类 原理:利用气体电离产生的电流与压力成正比的关系。 典型仪器:热阴极/冷阴极电离规(测量范围:10⁻⁵~10⁻¹⁴Pa)。 特点:高精度但易受污染,需避免油蒸气。
冷阴极真空计(ColdCathodeGauge,如潘宁计)原理:基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极,外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子,电子在磁场中螺旋运动,增加与气体分子的碰撞概率,导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获,形成离子电流,其大小与气体分子密度成正比。特点:量程:通常为10−6Torr至10−3Torr,适合中高真空。优点:无加热元件,结构简单、寿命长。对振动不敏感(适合航天等恶劣环境)。局限性:低真空下响应慢(需足够残余气体维持放电)。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高(需校准)热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低(可忽略)冷阴极计(潘宁)高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 真空计可分为真空计和相对真空计两大类。

值得注意的是,由于它是一种相对真空计,所以其测量结果对气体种类具有一定的依赖性。其校准曲线通常针对干燥的氮气或空气进行标定。因此,在被测气体成分发生较大变化时,需要对测量结果进行相应的修正。此外,长时间使用后,热丝可能会因氧化而发生零点漂移,这要求我们在使用时避免长时间暴露于大气或高压强环境中,并可能需要通过调节电流来校准零点位置热偶真空计的规管构造主要包括加热灯丝C与D(通常采用铂丝)以及用于测量热丝温度的热电偶A与B(多采用铂铑或康铜-镍铬合金)NC810A型薄膜真空计属于高精度计量器具,应定期计量检定。英思科真空计批发厂家
被测气体是否会损伤高精度薄膜真空计;高精度薄膜真空计可否会给被测气体状态带来影响。信息化真空计代理价钱
真空计是用于测量真空度的设备,其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内,真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计(或规管),种类繁多,常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计,例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确,不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量,再与***真空计对比来得出压强值,例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计,且测量结果与气体种类相关。在实际生产中,除了真空校准外,相对真空计的应用更为***。 信息化真空计代理价钱