微纳米结构和加工仪器隔振台原理

AVI

400-XL

AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。

AVI 400-XL的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 400-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 400-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 400-XL紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。

技术指标：

频率： 1.2-200 Hz

负载范围： 0-800公斤

（单个）：  400公斤 HERZ在被动式隔振系统产品之外，补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。微纳米结构和加工仪器隔振台原理

该系统的固有刚度比1

Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍，可提供出色的方向和位置稳定性。

有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振，这种共振困扰着所有无源隔离系统。

该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度，在该频率下，许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。

所有控制电路都内置在该单元**耗小于2.5W。该设备具有通用输入，可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜（AFM， STM），干涉仪和其他高 分辨率仪器，从而使这些仪器能够达到**终的性能。事实证明，该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。 干涉仪隔振台有哪些品牌传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。

将手轻轻放在桌面上。上方区块中的一个或多个LED可能会亮起，指示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果你现在在桌面上施加很大的力，所有过载灯都会亮起，并且隔离指示灯将闪烁几秒钟，表明系统暂时不再隔离，直到过载消除（待机模式）。

消除过载后，隔离灯应再次亮起，系统开始隔离。某些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段系统正在隔离-但增益降低。严重过载后，系统可能需要半个小时分钟即可达到完全隔离，但通常只需要几秒钟。注意：在正常使用中，隔离开关可能会保持在ON位置（黑色旋钮在里面）。上接通电源后，黄色指示灯将首先闪烁，表明系统处于待机状态模式。大约30秒钟后，指示灯停止闪烁并保持点亮状态，表明系统处于隔离。

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3性能

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。

AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。 该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。

Herz 防震台/防振台是世界上****的防震台/防振台系统方案供应商之一。 在纳米技术的时代，极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响，必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到比较好成果。 Nanotechnology正在改变，由高层次的研究波及各个行业的基本生产，要有效地发展纳米技术，消除振动尤为重要！

在过去的40年，HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商，并在此领域积累了丰富的经验。与此同时，测量技术有了很大的进步，一些**灵敏的设备会受被动式隔振系统中低频共振频率的干扰，只有主动式隔振系统能消除此类干扰。因此，HERZ在被动式隔振系统产品之外，补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。 AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元，比较大可以负载400公斤。光学隔震平台隔振台推荐产品

先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。微纳米结构和加工仪器隔振台原理

AVI主动隔振台

AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。

AVI 产品特点：

· 安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。

· 安装好后参数不需要调整。

· 从低频率起提高一个隔振环境。

·控制中心有超载指示灯。

Cu(100)-O表面低温AFM图像

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 微纳米结构和加工仪器隔振台原理

岱美仪器技术服务（上海）有限公司成立于2002-02-07，是一家贸易型的公司。公司业务分为[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]等，目前不断进行创新和服务改进，为客户提供质量的产品和服务。公司注重以质量为中心，以服务为理念，秉持诚信为本的理念，打造仪器仪表质量品牌。公司凭借深厚技术支持，年营业额度达到100-200万元，并与多家行业**公司建立了紧密的合作关系。