5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下，使模块从一侧到另一侧（而不是从前到后）横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧，不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40，则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝内，相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40，则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝外，彼此远离。
6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板，前后各27.5英寸，两侧各27英寸，在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时，确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。
7、系统就位后，使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜，直到其落在安装板上。抬起水平尺，直到它们向上并离开。 LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz。**频隔震台隔振台干扰仪防震台应用
TS-150安全守则
只能将系统插入具有单独接地的插座。 不要断开此连接通过插座或使用不接地的延长线接地。
在打开本设备之前，请确保已将其连接到正确的电源电压。
请勿卸下任何盖子或让任何金属物体进入设备的任何开口。
请勿拆卸或尝试维修系统。 这可能会导致电击或损坏到系统。
卸下任何主机盖之前，请先断开电源。 请把维修交给合格的人员。
请勿在有危险的环境中使用。
请勿在顶板上钻任何孔。 这会损坏系统。
如果您怀疑系统有任何不安全之处，请拔下电源插头并防止可能发生的意外事 故用法。 请与您**近的服务中心联系。
光学隔震平台隔振台质保期多久传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。
TS-140+40
TS-140 +40结合了久经考验的技术特点与优雅且用户友好的设计
这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。
在公制（M6 x 25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
TS-140 +40的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz后迅速增加至40db
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果
TS-140 +40的高度*84毫米
TS 140 +40的重量*为28.5千克
Herz
Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器
LFS-3性能
LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。
LFS-3性能使用测振仪的V档并有50公斤的重量下测试的。LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。
AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。 安装好后参数不需要调整。
支撑面测试
在系统运行时，推动支撑表面。 灯不亮，除了可能会大力推动。 如果可以轻松使灯点亮，则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。 确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用，并尝试适当地使结构变硬。请注意，该系统将在任何支撑表面上运行，但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率，因此这些振动频率会降低隔离的。
桌面选择
桌面必须足够坚硬，以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。 蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生比较好的结果，但是可以使用石板甚至是实心木板。 对于的位置固定孔，请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意，也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。 在这坚固的安装是***必要的。 我们很乐意为您提供比较好安装建议方法。
AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元，比较大可以负载400公斤。主动减振台隔振台可以试用吗
AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。**频隔震台隔振台干扰仪防震台应用
桌面必须足够坚硬，以防止两个隔离单元绕其长水平轴相对旋转。蜂窝状垫板或30mm厚的铝板效果比较好，但可以使用石板甚至实木板。有关连接孔的位置，将电缆连接至隔离装置的两侧。附加装置通常与***个装置平行放置，但这并非***必要。但是，必须特别注意桌面的正确连接，如下所述。注意，也可以将隔离装置直接连接到所支持的设备上。在这种情况下，刚性安装是***必要的。我们很乐意为您提供比较好安装方法的建议。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 **频隔震台隔振台干扰仪防震台应用
岱美仪器技术服务（上海）有限公司成立于2002-02-07，注册资本：100-200万元。该公司贸易型的公司。公司是一家其他有限责任公司企业，以诚信务实的创业精神、质量高效的管理团队、精悍的职工队伍，努力为广大用户提供***的产品。公司始终坚持客户需求***的原则，致力于提供高质量的[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]。岱美中国自成立以来，一直坚持走正规化、专业化路线，得到了广大客户及社会各界的普遍认可与大力支持。
