Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有**的防振单元和控制器。
可能有多种变化,例如将其用作电子显微镜(SEM)的隔振台,或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。
特点:
・通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。
・安装时不需要参数调整,安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧,因此不需要空气弹簧。
・振动状态一目了然。
(可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。)
-加速度信号可以从外部输出。
(通过将BNC连接器连接到示波器,可以看到活动对象正在正常工作。 AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。主动防振系统隔振台
桌面必须足够坚硬,以防止两个隔离单元绕其长水平轴相对旋转。蜂窝状垫板或30mm厚的铝板效果比较好,但可以使用石板甚至实木板。有关连接孔的位置,将电缆连接至隔离装置的两侧。附加装置通常与***个装置平行放置,但这并非***必要。但是,必须特别注意桌面的正确连接,如下所述。注意,也可以将隔离装置直接连接到所支持的设备上。在这种情况下,刚性安装是***必要的。我们很乐意为您提供比较好安装方法的建议。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 隔震台隔振台电子显微镜AEM安装好后参数不需要调整。
地板上没有AVI产品加速度的数据。(图中横坐标为频率,纵坐标为加速度)
加上AVI产品开启隔振功能后,加速度的数据。(图中横坐标为频率,纵坐标为加速度)
Herz
Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器
LFS-3性能LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。谢谢!TS-150
TS-150结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计
TS 150的隔离频率始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40db
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的**于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
频率:0,7-1000 Hz
负载范围:0-150公斤
尺寸 :400 x 450 x 78.5 毫米
TS-150结合了久经考验的技术***性和优雅且用户友好的设计。TS 150的隔离频率始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多。
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。TS 150的出色性能包括所有六个平移和旋转振动模式精确的**于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平。遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果。
TS-150的高度*为78.5毫米
TS-150的重量*为17.5千克 LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。
5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下,使模块从一侧到另一侧(而不是从前到后)横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧,不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40,则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝内,相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40,则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝外,彼此远离。
6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板,前后各27.5英寸,两侧各27英寸,在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时,确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。
7、系统就位后,使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜,直到其落在安装板上。抬起水平尺,直到它们向上并离开。 必须改善测量环境,以发挥仪器的极大效能,达到比较好成果。隔震台隔振台电子显微镜AEM
所有范围内为±5%。控制单元必须与相应的测量头一起使用!主动防振系统隔振台
TS-140+40技术指标:
频率 负载范围 尺寸
0,7-1000 Hz 50-180公斤 500 x
600 x 84毫米
隔离:
动态0.7Hz至1kHz无源(超过1kHz)
传递率:
参见附件曲线10 Hz以上的透射率<0.01(-40dB)
矫正力:垂直+/- 8 N 水平+/- 4 N
静态合规性:垂直约12 µm
/ N 水平30-40 µm / N
比较大负载:50-180公斤
尺寸:500 x 600 x
84毫米
重量:28.5公斤
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。
在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
主动防振系统隔振台
岱美仪器技术服务(上海)有限公司于2002-02-07成立,注册资本100-200万元元,现有专业技术人员11~50人人,各种专业人员齐备。在岱美中国近多年发展历史,公司旗下现有品牌EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB等。公司不仅*提供专业的磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 ,同时还建立了完善的售后服务体系,为客户提供质量的产品和服务。岱美中国始终以质量为发展,把顾客的满意作为公司发展的动力,致力于为顾客带来***的[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]。