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隔振台基本参数
  • 品牌
  • Herz
  • 型号
  • AVI-200SLP,AVI-200SLP,AVI-200XLP,AVI-400SLP,AVI-40
  • 产地
  • 瑞士
  • 是否定制
隔振台企业商机

TS-150安全守则

只能将系统插入具有单独接地的插座。 不要断开此连接通过插座或使用不接地的延长线接地。

在打开本设备之前,请确保已将其连接到正确的电源电压。

请勿卸下任何盖子或让任何金属物体进入设备的任何开口。

请勿拆卸或尝试维修系统。 这可能会导致电击或损坏到系统。

卸下任何主机盖之前,请先断开电源。 请把维修交给合格的人员。

请勿在有危险的环境中使用。

请勿在顶板上钻任何孔。 这会损坏系统。

如果您怀疑系统有任何不安全之处,请拔下电源插头并防止可能发生的意外事 故用法。 请与您**近的服务中心联系。


LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。轮廓仪隔振台其他高精密仪器

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AVI-400系列(负载:**多800kg)

型号:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP

系统形状:控制器与防振单元分离型

主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上

确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态

尺寸:190×396×190×720×220×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重*800kg

单位重量:约13kg;约19公斤,联络我们

电源电压:95-240VAC,50-60赫兹

耗电量:通常为18W

工作温度范围:5℃〜40℃工作湿度范围10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)

可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 TS 系列隔振台美元报价安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。

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AVI主动隔震台

AVI应用于扫描电镜

1、如有可能,拆下扫描电镜柱的侧板。

2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木块以增加高度。

3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓(如有必要)。

4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落,确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平,则使用垫片确保水平,并在各侧均匀地放置在地面上。

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。

5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下,使模块从一侧到另一侧(而不是从前到后)横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧,不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40,则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝内,相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40,则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝外,彼此远离。

6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板,前后各27.5英寸,两侧各27英寸,在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时,确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。

7、系统就位后,使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜,直到其落在安装板上。抬起水平尺,直到它们向上并离开。 垂直方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到40dB的衰减。

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主动式隔震台工作机理

主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持比较好的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。

(1)实际测量的振动结果:AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz

到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。

(2)不同负载下的振动传递率:

AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内,随着隔振负载增加,隔震效果稍有提升。 从低频率起提高一个隔振环境。轮廓仪隔振台其他高精密仪器

Table Stable通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。轮廓仪隔振台其他高精密仪器

支撑面测试

在系统运行时,推动支撑表面。 灯不亮,除了可能会大力推动。 如果可以轻松使灯点亮,则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。 确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用,并尝试适当地使结构变硬。请注意,该系统将在任何支撑表面上运行,但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。



桌面选择

桌面必须足够坚硬,以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。 蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生比较好的结果,但是可以使用石板甚至是实心木板。 对于的位置固定孔,请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意,也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。 在这坚固的安装是***必要的。 我们很乐意为您提供比较好安装建议方法。


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岱美仪器技术服务(上海)有限公司始建于2002-02-07,坐落于金高路2216弄35号6幢306-308室,现有员工11~50人余人。致力于创造***的产品与服务,以诚信、敬业、进取为宗旨,以建EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB明星产品为目标,努力打造成为同行业中具有影响力的企业。公司以用心服务为**价值,希望通过我们的专业水平和不懈努力,将磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 等业务进行到底。自公司成立以来,一直秉承“以质量求生存,以信誉求发展”的经营理念,始终坚持以客户的需求和满意为**,为客户提供质量的[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ],从而使公司不断发展壮大。

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