低本底α谱仪测量系统由硬件与软件两大部分组成。其中，硬件包括探测器系统、电路系统和真空系统。软件系统由核素库软件和谱分析软件两大部分组成。其中，电路系统是探测器输出的信号进入前置放大器，通过前置放大器，提高信噪比并将信号进行初步放大。经过主放大器进行信号的进一步放大并将信号传递至多道分析器，使脉冲信号转化为电信号并传递给PC端。值得一提的是，PC端界面可同时显示多个测量窗口，也可选择单个测量窗口放大显示。
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