安徽工业烤箱维修

HMDS 预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

  增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。 合肥真萍科技工业烤箱值得推荐。安徽工业烤箱维修

中温气氛箱式炉主要用于磷酸铁锂正极材料等类似产品的高温烧结、热处理。

一、热工系统

1.额定温度 800℃

2.较高温度 850℃

3.加热元件 陶瓷外丝加热管

4.加热功率 18kw

5.空炉保温功率 约 9kw

6.温区个数 1 个

7.控温点数 2 点

8.热偶 K 分度

9.控温稳定度 ±1℃(恒温平台)

10.炉膛温度均匀度 ±6℃（恒温 800℃,1h）

二、气氛系统

1.炉膛气氛 2 路氮气，流量计量程为 2～20L/min；每路流量可调节

2.排气系统 在炉膛顶部设置一个排气囱，用于废气排放，废气

3.经过水封清洗后进入大气中，减少对环境污染

4.氧含量 配氧含量分析仪分析氧含量：

5.高温状态氧含量≤10ppm+气源氧含量

6.低温状态氧含量≤50ppm+气源氧含量

三、冷却系统

1.冷却结构 无

2.产品降温 随炉降温

3.安全保护

4.报警指示 超温、断偶、停水、停气等声光报警保护

5.设备安全升温速率 ≤5℃/min

四、温度控制系统

1.温度测量 采用 K 分度热偶测量

2.控制仪表 采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高温

3.上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能

4.控制方式 固态继电器过零控制

5.超温处理 ⑴.当测量温度超过设定的安全值时，断加热，并报警。

⑵.当测量温度超过目标温度达到安全偏差值时，报警。 无锡哪里有工业烤箱合肥真萍科技****，真诚推荐选择。

    恒温恒湿试验箱的控制系统可说是整个设备的心脏，掌管着制冷、制热、控湿、循环、控制等大权。

  在制冷方面，压缩机是采用德国进口的压缩机。制冷系统由高温部分和低温部分组成，每一部分是一个相对**的制冷系统。高温部分中制冷剂的蒸发吸收来自低温部分的制冷剂的热量而汽化；低温部分制冷剂的蒸发则从被冷却的对象(试验机内的空气)吸热以获取冷量。高温部分和低温部分之间是用一个蒸发冷凝器联系起来，它既是高温部分的冷凝器，也是低温部分的冷凝器。

  加热系统采用完全**的镍铬合金电加热式，电阻率大、电阻温度系数小，在高温下变形小且不易脆化，自身加热温度可达1000～1500℃，使用寿命长。

  加湿是恒温恒湿试验箱不同于高低温试验箱的相当主要一部分，恒温恒湿试验箱采用外置隔离式，全不锈钢锅炉式浅表面蒸发式加湿器。祛湿方式采用机械制冷祛湿，将空气冷却到**温度以下，使大于饱和含湿量的水汽凝结析出，这样就降低了湿度。

  送风循环系统：空气循环系统由耐温低噪音空调型电机，多叶式离心风轮构成。它提供了试验机内空气的循环。

HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸：

1. 内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;

2. 载物托架：2块

3.室温+10℃-250℃   控温范围：温度分辨率：0.1℃   温度波动度：±0.5℃

4. 真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa，

5. 加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态）

6. 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。

7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为 常规降温）。 工业烤箱生产厂家哪家好？合肥真萍科技告诉您。

可定制高温烘箱

产品型号：DGF-9030A

箱体结构：

1、本烘箱由室体、加热系统、电气控制系统、送风系统、保护系统等组成。

2、箱体采用优良设备制作、成熟的制造工艺流程、线条流畅、美观大方。

3、工作室材质为耐高温不锈钢SUS304材质、外箱材质为质量冷轧钢板，产品外壳使用环保金属漆喷制，整体设计美观大方，适合实验室的颜色搭配。

4、工作室内的搁架可随客户的要求调节高度及搁架的数量。

5、工作室与外箱之间的保温材质是质量硅铝酸高温棉，保温厚度：＞100mm，隔温效果，高性能的绝缘结构。从内到外有内腔、外壳、超细玻璃纤维、铝制反射铝箔片、空气夹层，内胆热量损失少。内胆外箱及门胆结构减少了内腔热量的外传。

6、门与门框之间采用高性能密封材料及橡胶密封结构，密封、耐高温性、抗老化性好。

7、箱内风道采用双循环系统，不锈钢多翼式离心风轮及循环风道组成，置于箱体背部的电加热器热量通过侧面风道向前排出，经过干燥物后再被背部的离心风轮吸入，形成合理的风道，能使热气充分对流，提升箱内温度的均匀。提高了空气流量加热的能力，改善了干燥箱的温度均匀性。

8、加热器用不锈钢电加热管，升温快，寿命长。

合肥真萍科技告诉您工业烤箱的选择方法。上海恒温工业烤箱

合肥真萍科技为您提供各种质量工业烤箱。安徽工业烤箱维修

下面为大家简单介绍一下洁净烘箱

箱体结构：

1烘箱总体由箱体部分，电气控制柜部分，电加热部分，风道部分，尘埃物过滤部分，N2 进气排气及风冷部分等组装而成，结构合理，功能实用。

2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘，内胆材料：采用进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。

3保温材料：采用正厂**玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充，防止了热能浪费。

4电热部分：采用覆套式电热器（SHEATHED HEATER）无尘无氧化电热发生器

5风道部分:整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A,(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100；

可靠的测控系统

1温度控制装置：进口温控器，内置PID自动整定，斜率设定功能

2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出，温度采集探头为特制铠装K型热电偶

3温度监控装置：采用六通道巡回检测 有纸记录仪，可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。

安徽工业烤箱维修

合肥真萍电子科技有限公司成立于2010-04-14，专业电子产品，电子设备及配件，半导体设备及配件，半导体耗材，办公设备研发及销售。真萍科技(真萍微电子装备)是专业从事烘烤制程设备，半导体黄光区**设备，环境与可靠性试验设备,电镀清洗设备，防潮防氧化专业设备等产品的生产和销售供应厂商，是以一批多年从事环境试验设备、防潮防氧化设备,半导体黄光区**设备，电镀清洗设备等行业的专业工程技术人员，具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。等多项业务，主营业务涵盖[ "洁净箱", "干燥箱", "高温无氧烤箱", "隧道炉" ]。唯才是举，唯能是用：拥有优秀人才11~50人和，是实现企业战略目标的基础，是企业持续发展的动力。公司业务范围主要包括：[ "洁净箱", "干燥箱", "高温无氧烤箱", "隧道炉" ]等。公司奉行顾客至上、质量为首、的经营宗旨，深受客户好评。公司凭着雄厚的技术力量、饱满的工作态度、扎实的工作作风、良好的职业道德，树立了优良的[ "洁净箱", "干燥箱", "高温无氧烤箱", "隧道炉" ]形象，赢得了社会各界的信任和认可。