干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。北京NEODRY 30E干式真空泵现货
日本KASHIYAMA SDL36E60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDL36E60 |
MAX排气速度(L/min) |
60000 |
达到压力(Pa) |
0.8 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
外型尺寸WHL [mm] |
850×1295×1370 |
重量(kg) |
920 |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDL36E60主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 广州NEODRY 30E干式真空泵销售电话浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。
日本KASHIYAMA NEODRY 300E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 15E技术参数:
式样 |
NEODRY 300E |
Max排气速度(L/min) |
5000 |
达到压力(Pa) |
0.3 |
电源电压 |
单相AC200-220V |
外型尺寸WHL [mm] |
304×575×574 |
吸气口 |
KF50 |
噪声 |
≤72DB |
排气口 |
KF25 |
质量【kg】 |
125kg |
二、NEODRY 300E 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
NEODRY 300E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
日本KASHIYAMA MU180X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
MU180X |
MAX排气速度(L/min) |
3000 |
达到压力(Pa) |
1.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V |
消费电力(KW) |
0.5KW |
外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
质量【kg】 |
95kg |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
MU180X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
干式真空泵的不同系列会有不同的优势。
螺杆干式真空泵特征:
①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。
②操作维护方便。
③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。
④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响.
⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。 KASHIYAMA干式真空泵为日本原装进口干式真空泵。深圳NEODRY 60E干式真空泵
干式真空泵的系列有很多种。北京NEODRY 30E干式真空泵现货
日本KASHIYAMA MU20N18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
MU20N18P/H |
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V |
消费电力(KW) |
1.5KW |
外型尺寸WHL [mm] |
1000×450×950 |
质量【kg】 |
410kg |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
MU20N18P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
北京NEODRY 30E干式真空泵现货
浚和(上海)仪器有限公司致力于仪器仪表,以科技创新实现***管理的追求。公司自2018-10-09成立以来,投身于[ "真空泵", "喷雾干燥机", "培养箱", "等离子清洗机" ],是仪器仪表的主力军。公司终坚持自主研发创新发展理念,不断优化的技术、产品为客户带来效益,目前年营业额达到2000-3000万元。浚和始终关注自身,在风云变化的时代,我们对自身的建设毫不懈怠,高度的专注与执着使我们在行业的从容而自信。
干式真空泵与油泵的性能比较项目NeoDrySeries干式真空泵油泵特征○・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。△・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。(根据使用情况,需要频繁更换)维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少,O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触,无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。(使用氟油的情况费用较高)・需要更换叶片及阀门。(因叶片为接触式)初始投...