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下面为大家介绍一下石墨盘烤盘炉
一.产品介绍
真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。
二、设计特点
1、后门设计热风电机
2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向
3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的
三、技术指标
1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;
2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;
4、加热元件:石墨加热棒;
5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;
6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;
7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);
8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;
9、极限真空: 10-3torr级;
10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr
11、升温功率:170kW;
12、升温速率:15℃/min(空载);
13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟
14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高) 欢迎致电合肥真萍科技咨询工业烤箱相关知识。哪里有工业烤箱
可定制高温烘箱
产品型号:DGF-9030A
箱体结构:
1、本烘箱由室体、加热系统、电气控制系统、送风系统、保护系统等组成。
2、箱体采用优良设备制作、成熟的制造工艺流程、线条流畅、美观大方。
3、工作室材质为耐高温不锈钢SUS304材质、外箱材质为质量冷轧钢板,产品外壳使用环保金属漆喷制,整体设计美观大方,适合实验室的颜色搭配。
4、工作室内的搁架可随客户的要求调节高度及搁架的数量。
5、工作室与外箱之间的保温材质是质量硅铝酸高温棉,保温厚度:>100mm,隔温效果,高性能的绝缘结构。从内到外有内腔、外壳、超细玻璃纤维、铝制反射铝箔片、空气夹层,内胆热量损失少。内胆外箱及门胆结构减少了内腔热量的外传。
6、门与门框之间采用高性能密封材料及橡胶密封结构,密封、耐高温性、抗老化性好。
7、箱内风道采用双循环系统,不锈钢多翼式离心风轮及循环风道组成,置于箱体背部的电加热器热量通过侧面风道向前排出,经过干燥物后再被背部的离心风轮吸入,形成合理的风道,能使热气充分对流,提升箱内温度的均匀。提高了空气流量加热的能力,改善了干燥箱的温度均匀性。
8、加热器用不锈钢电加热管,升温快,寿命长。
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质量连续炉的适用范围:连续炉即是连续作业炉,是指连续地或间歇地装料,工件在炉内不断移动,完成加热、保温,有时包括冷却在内全过程的热处理炉。连续作业炉可借助某些机械机构连续地或间歇地进行装料和出料,连续顺序地通过按零件处理工艺要求的不同温度区完成加热过程。使用连续作业炉可提高产品质量,提高劳动生产率和改善劳动条件。
质量连续炉的产品特性:
1、 采用智能型温度控制模块,PID自动演算,LED显示,配合SSR大功率可控硅输出,能控制温度之精细度;
2、 分段控制(当到达设定温度时可任意关掉其中几段发热管,降低加热功率,其达到省电效果)
3、 内箱采用1.5mm厚SUS304#不锈钢(清洁无尘,防生锈、耐腐蚀),外箱采用1.5mm厚Q235冷轧钢板(强度、塑性和焊接综合性能相当好);
4、整机控制系统采用触摸屏加PLC程序控制,设备加热、运风、传动、自动门开关均采用智能控制,防止失误动作;
5、当实际检测温度超过超温保护温控器设定值时,自动切断加热电源,起到双重保护功能。
下面为大家简单介绍一下六腔体无尘烤箱。
本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造,广泛应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。
技术指标:
1 无尘等级:Class100:(符合FED-STD 209E标准:0.3um≤300个0.5≤100个)
2温度范围:+60℃~ +250℃(极限温度350℃)
3温度均匀性:±2℃(空箱测试)
4温度精确度:±1℃(空箱测试)
5设备型号规格:450*450*450;450*600*450;600*800*600;600*700*600;700*900*700;
700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;
1000*1300*1000;1000*1400*1000; 工业烤箱有什么特点?合肥真萍科技告诉您。
HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸:
1. 内胆尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;
2. 载物托架:2块
3.室温+10℃-250℃ 控温范围:温度分辨率:0.1℃ 温度波动度:±0.5℃
4. 真空泵:油泵或无油真空泵。真空度:133pa,
5. 加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板(防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态)
6. 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片;6寸晶圆片;8寸晶圆片等。
7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间(正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为 常规降温)。 真萍科技是具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。哪里有工业烤箱
广泛应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。哪里有工业烤箱
由于在重大工程、工业装备和质量保证、基础科研中,仪器仪表都是必不可少的基础技术和装备**,除传统领域的需求外,新兴的智能制造、离散自动化、生命科学、新能源、海洋工程、轨道交通等领域也会产生巨大需求。随着互联网的逐步发展,为[ "洁净箱", "干燥箱", "高温无氧烤箱", "隧道炉" ]等产品的传播提供了一个有效、快速的平台。让仪器仪表行业从传统的销售模式到以互联网电子商务为主的营销方式的转变,促进了仪器仪表行业与互联网的结合,推动产业创新发展。仪器仪表应用领域***,覆盖了电子产品,电子设备及配件,半导体设备及配件,半导体耗材,办公设备研发及销售。真萍科技(真萍微电子装备)是专业从事烘烤制程设备,半导体黄光区**设备,环境与可靠性试验设备,电镀清洗设备,防潮防氧化专业设备等产品的生产和销售供应厂商,是以一批多年从事环境试验设备、防潮防氧化设备,半导体黄光区**设备,电镀清洗设备等行业的专业工程技术人员,具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。等各方面,在国民经济建设各行各业的运行过程中承担着把关者和指导者的任务,仪器仪表制造行业可以分为通用仪表仪器制造、**仪器仪表制造、钟表与计时仪器制造、光学仪器制造和衡器制造。尽管在国家相关政策的引导和支持下,我国仪器仪表行业得到了快速发展。但是从销售整体上看,我国的仪器仪表行业还是落后于国际先进水平的。**技术缺乏、高精尖产品严重依赖进口、仪器仪表产品同质化严重、生产工艺落后、研发能力弱、精度不高等问题的凸显,为仪器仪表行业的发展带来了严峻的挑战。哪里有工业烤箱
合肥真萍电子科技有限公司成立于2010-04-14,注册资本:300-500万元。该公司生产型的公司。真萍电子是一家有限责任公司企业,一直贯彻“以人为本,服务于社会”的经营理念;“质量高速,诚守信誉,持续发展”的质量方针。以满足顾客要求为己任;以顾客永远满意为标准;以保持行业**为目标,提供***的[ "洁净箱", "干燥箱", "高温无氧烤箱", "隧道炉" ]。真萍电子顺应时代发展和市场需求,通过**技术,力图保证高规格高质量的[ "洁净箱", "干燥箱", "高温无氧烤箱", "隧道炉" ]。
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