干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
浚和(上海)仪器有限公司作为上海一家专业的干式真空泵供应商。成都KASHIYAMA干式真空泵报价

日本KASHIYAMA SDE1203X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDE1203X |
|
MAX排气速度(L/min) |
20000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
2.0KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
400×905×900 |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE1203X主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 北京干式真空泵半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.

日本KASHIYAMA MU300X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
MU300X |
|
MAX排气速度(L/min) |
5000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.55KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
230×520×450 |
|
质量【kg】 |
100kg |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU300X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
螺杆干式真空泵特征:
①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。
②操作维护方便。
③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。
④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响.
⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。 干式真空泵的优点有很多。

日本KASHIYAMA NEODRY 15E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 15E技术参数:
|
式样 |
NEODRY 15E |
|
Max排气速度(L/min) |
250 |
|
达到压力(Pa) |
1 |
|
电源电压 |
单相AC200-220V |
|
外型尺寸WHL [mm] |
210×250×385 |
|
吸气口 |
KF25 |
|
噪声 |
≤60DB |
|
排气口 |
KF25 |
|
质量【kg】 |
23kg |
二、NEODRY15E 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
NEODRY 15E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
|
5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
|
6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
浚和(上海)仪器有限公司为日本樫山工业干式真空泵中国区授权代理商。上海NEODRY 15E干式真空泵维修
干式真空泵的优缺点您知道吗?成都KASHIYAMA干式真空泵报价
日本KASHIYAMA SDE200干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDE200 |
|
MAX排气速度(L/min) |
3300 |
|
达到压力(Pa) |
1.3 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
2.7KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
370×501×690 |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE200主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 成都KASHIYAMA干式真空泵报价
浚和(上海)仪器有限公司是一家仪器仪表、电气设备、环保设备、机械设备及配件、化工产品及原料(除危险化学品、监控化学品、民用物品、易制毒化学品)的销售,从事货物及技术的进出口业务,从事电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,机械设备的维修。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】的公司,致力于成为客户业务创新、仪器仪表可信赖的合作伙伴。公司自2018-10-09成立以来,投身于[ "真空泵", "喷雾干燥机", "培养箱", "等离子清洗机" ],是仪器仪表的主力军。公司终坚持自主研发创新发展理念,不断优化的技术、产品为客户带来效益,目前年营业额达到2000-3000万元。浚和始终关注仪器仪表行业。海纳百川,有容乃大,国内外同行的智慧都是促使我们前行的力量。
排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。(根据使用情况,需要频繁更换)维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少,O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触,无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。(使用氟油的情况费用较高)・需要更换叶片及阀门。(因叶片为接触式)初始投资成本△・与油泵相比相对较高。○・与干泵相比较便宜。配套设备费用○・不需要油雾凝气阀△・需要油雾凝气阀。・需要油盘。浚和(上海)仪器科技有限公司为您提...