企业商机
干式真空泵基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • KASHIYAMA
  • 型号
  • Neodry 36E
  • 是否定制
干式真空泵企业商机

干式真空泵与油泵的性能比较:

项   目

NeoDry Series

干式真空泵

油  泵

特  征

不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。

使用油密封得不到干净的真空。

排气时会在排气口产生油雾。

根据使用情况,密封用油中会混入水蒸  气·溶剂使油质变差影响性能。

泵的周围会因油雾污染环境。

维护性

基本上免维护

因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。

  (根据使用情况,需要频繁更换)

维护成本

洁净排气时维护周期可为3年一次。    长期运行可降低维护成本。

更换部件很少,O / H费用便宜。

抽气部分无物理接触,无因磨损更  换部件。

油需定期更换产生费用。

  (使用氟油的情况费用较高)

需要更换叶片及阀门。

  (因叶片为接触式)

初始投资成本

与油泵相比相对较高。

与干泵相比较便宜。

**设备费用

不需要油雾凝气阀

需要油雾凝气阀。

需要油盘。

Kashiyama Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。东莞樫山干式真空泵代理商

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樫山真空集中了经半导体,液晶行业等所研发的技术,针对一般工业应用

    开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。

  

特 征

  ) 采用多段ROOTS方式抽气部分为非物理性接触构造

          不会因长时间的运行导致设备性能下降。


   ) 保养周期长,因需更换的零件少,可降低后期保养费用。


  iii )  通过选购气镇阀,使设备具有水汽排气性能。


北京樫山干式真空泵报价浚和(上海)仪器有限公司销售干式真空泵价格低廉。

  ) 采用空气冷却,不需要冷却水。
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干式真空泵的种类特征

螺杆

利用螺杆Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。

罗茨

3片式RotorCasing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。

复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。

涡旋

利用涡旋型的StageRotor的运动组合来进行排气的真空泵。

隔膜

藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。

活塞

利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX技术参数:

型 号

项 目

SDE603TX

注1)MAX排气速度

10000 L/min

注1)极限

0.5 Pa

加速时间 加速時間

35s

减速时间 減速時間

Free Run

MAX气口

大 气 压

注2)在330kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内

MAX排气背压(计示压力)

3kPa以下

出功率

3.1kW

气口(法

ISO100

排气口(法

NW25

滑油量

1.2L(含氟油)

   

3相、200~220V

50/60 Hz

注3) 允许电压变动值 ±10

容  量

10.5 kVA

运行

50A

30 mA

冷却水

  MAX供

(计示压力)

0.5MPa

**小

0.3MPa

流  量

4~8 L/min

供水温度

10~25

放出热量

1800kJ/h

注4)

氮 气

向干泵供给压

(规压)

0.1~0.7MPa

流  量

0~80SLM 您喜欢干式真空泵的这些特点吗?


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日本KASHIYAMA MU20N18X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

MU20N18X

MAX排气速度(L/min)

30000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V

消费电力(KW)

1.0KW

外型尺寸WHL [mm]

1000×450×950

质量【kg】

410kg


二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

MU20N18X主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本  干式真空泵的系列有:多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。成都MU180X干式真空泵现货

KASHIYAMA干式真空泵为日本原装进口干式真空泵。东莞樫山干式真空泵代理商

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):

SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

2、系统组成:

1) 罗茨泵  (SDE120TX) 1   

2) 机械增压泵(KMB603) 1   

3) 电源盒  1   

4) 操作手柄1  

5) 连接件  1   

6) 消音器(SR-19) 1


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