低本底α谱仪测量系统由硬件与软件两大部分组成。其中，硬件包括探测器系统、电路系统和真空系统。软件系统由核素库软件和谱分析软件两大部分组成。其中，电路系统是探测器输出的信号进入前置放大器，通过前置放大器，提高信噪比并将信号进行初步放大。经过主放大器进行信号的进一步放大并将信号传递至多道分析器，使脉冲信号转化为电信号并传递给PC端。值得一提的是，PC端界面可同时显示多个测量窗口，也可选择单个测量窗口放大显示。
谱图分析中可以进行寻峰、核素识别。只要点击寻峰，谱分析软件就会自动寻峰。若已加载核素库和能量刻度，点击核素识别，就可以直接寻峰并核素识别。还可以点击峰信息，显示谱峰信息，查看峰位、峰边界、半高宽、峰面积等信息。
谱图分析中可以进行能量刻度，进行能量刻度是定性分析的前提条件，能量刻度后可对所测样品进行定性分析。用户可以填写已知刻度源的能量信息（道址与核素库能量），点击“校准”，进行拟合校准，点击“使用刻度”应用到当前谱图。可将刻度好的信息进行保存，方便下次使用。
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