- 产地
- 日本
- 品牌
- KASHIYAMA
- 型号
- Neodry 36E
- 是否定制
- 否
日本KASHIYAMA MU180X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
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式样 |
MU180X |
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MAX排气速度（L/min） |
3000 |
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达到压力（Pa） |
1.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力（KW） |
0.5KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
95kg |
二、 配置清单：
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU180X主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
设备原产地：日本
干式真空泵的无油环保特点成为了干式真空泵的主要卖点。北京SDE1220干式真空泵授权代理
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型 号 项 目 |
SDE603TX |
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注１）MAX排气速度 |
10000 L/min |
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注１）极限压力 |
0.5 Pa |
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加速时间 加速時間 |
35s |
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减速时间 減速時間 |
Free Run |
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MAX进气口压力 |
大 气 压 注２）在3～30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内 |
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MAX排气背压（计示压力） |
3kPa以下 |
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电机输出功率 |
3.1kW |
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进气口（法兰） |
ISO100 |
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排气口（法兰） |
ＮＷ25 |
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润滑油量 |
1.2L（含氟油） |
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电 源 |
电 压 |
3相、200~220V 50/60 Hz 注３） 允许电压变动值 ±10％ |
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容 量 |
10.5 kVA |
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运行电流 |
50A |
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漏电流 |
约30 mA |
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冷却水 |
MAX供压 （计示压力） |
0.5MPa |
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**小压差
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0.3MPa |
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流 量 |
4~8 L/min |
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供水温度 |
10~25 ℃ |
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放出热量 |
约 1800kJ/h |
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注４） 氮 气 |
向干泵供给压 （规压） |
0.1~0.7MPa |
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流 量 |
0~80SLM MU100X干式真空泵报价干式真空泵多种系列供您选择。 |
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日本KASHIYAMA SDE20M20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
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式样 |
SDE20M20 |
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MAX排气速度（L/min） |
30000 |
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达到压力（Pa） |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V，380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE20M20主机一台 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
设备原产地：日本
日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。
干式真空泵是未来行业发展的趋势，虽然现在用的还不多，除了价格高原因外，还有用户对干式真空泵的了解不到位，看不到带给企业的未来经济效益，但是干式真空泵使工作容积中无油，因此带来了不少益处。有些立式螺杆真空泵通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度，从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应；轻松的输送腐蚀性介质，安全的输送易燃易爆气体。适于处理含固体微粒介质并且不需要加过滤器。小的维护要求，该泵无齿轮箱，同时对于泵无需更换和检测润滑系统。具有20,000 小时平均无故障时间；
那么干式真空泵的优势都有哪些呢？
日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度（L/min） |
1500 |
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达到压力（Pa） |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力（KW） |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
|
外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
|
质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单：
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE120TX主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
浚和（上海）仪器有限公司销售干式真空泵价格低廉。北京MU180X干式真空泵维修点
干式真空泵的多种系列总有一款是您满意。北京SDE1220干式真空泵授权代理
干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：
1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
北京SDE1220干式真空泵授权代理
浚和(上海)仪器有限公司注册资金700-1000万元，是一家拥有5~10人***员工的企业。浚和致力于为客户提供质量的[ "真空泵", "喷雾干燥机", "培养箱", "等离子清洗机" ]，一切以用户需求为中心,深受广大客户的欢迎。公司将不断增强企业核心竞争力，努力学习行业先进知识，遵守行业规范，植根于仪器仪表行业的发展。公司自成立以来发展迅速，业务不断发展壮大，年营业额度达到2000-3000万元，未来我们将不断进行创新和改进，让企业发展再上新高。
干式真空泵与油泵的性能比较项目ＮｅｏＤｒｙSeries干式真空泵油泵特征○・不使用液体密封泵腔，可以得到干净的真空。△・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。（根据使用情况，需要频繁更换）维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触，无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。（使用氟油的情况费用较高）・需要更换叶片及阀门。（因叶片为接触式）初始投...
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