轮廓仪白光干涉的创始人:
迈尔尔逊
1852-1931
美国物理学家
曾从事光速的精密测量工作
迈克尔逊首倡用光波波长作为长度基准。
1881年,他发明了一种用以测量微小长度,折射率和光波波长的干涉仪,迈克尔逊干涉仪。
他和美国物理学家莫雷合作,进行了***的迈克尔逊-莫雷实验,否定了以太de 存在,为爱因斯坦建立狭义相对论奠定了基础。
由于创制了精密的光学仪器和利用这些仪器所完成光谱学和基本度量学研究,迈克尔逊于1907年获得诺贝尔物理学奖。 但是在共焦图像中,通过多***盘的操作滤除模糊细节(未聚焦),只有来自聚焦平面的光到达CCD相机。Nano X-3000轮廓仪当地价格
1)白光轮廓仪的典型应用:
对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
2)共聚焦显微镜方法
共聚焦显微镜包括LED光源、旋转多***盘、带有压电驱动器的物镜和CCD相机。LED光源通过多***盘(MPD)和物镜聚焦到样品表面上,从而反射光。反射光通过MPD的***减小到聚焦的部分落在CCD相机上。传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节,但是在共焦图像中,通过多***盘的操作滤除模糊细节(未聚焦),只有来自聚焦平面的光到达CCD相机。因此,共聚焦显微镜能够在纳米范围内获得高 分辨率。 每个共焦图像是通过样品的形貌的水平切片,在不同的焦点高度捕获图像产生这样的图像的堆叠,共焦显微镜通过压电驱动器和物镜的精确垂直位移来实现。200到400个共焦图像通常在几秒内被捕获,之后软件从共焦图像的堆栈重建精确的三维高度图像。
Nano X-3000轮廓仪当地价格由于光罩中电路结构尺寸极小,任何微小的黏附异物和下次均会导致制造的晶圆IC表面存在缺 陷。
新型光学轮廓仪!film3D使得光学轮廓测量更易负担*后,表面粗糙度和表面形貌测量可以用比探针式轮廓仪成本更低的仪器来进行。film3D具有3倍於于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率,film3D同样使用了现今*高 分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含垂直扫描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。这就是您需要的解析力每film3D带有直观的粗糙度,表面形貌和台阶高度的测量软件。所有常见如ISO25178所规范的粗糙度参数都支持,也包括軟件功能用于形貌分析,如形状去除和波长过滤,都包含在基film3D软件。对于更进阶的功能,Filmetrics提供了我们的合作伙伴TrueGage的TrueMap软件可进一步处理film3D数据,这当然也与业界其他标准分析软件兼容。其他轮廓仪列为选备的功能已经是我们的标准配备为什么需要额外支付每位使用者所需要的功能?每film3D都已标配自动化X/Y平台包含tip/tilt功能。以我们的阶高标准片建立标准每film3D配备了一个10微米阶高标准片,可达%准确度。另我们还提供具有100nm,2微米以及4微米等多阶高标准片。*大视场Thefilm3D以10倍物镜优异地提供更宽广的2毫米视野,其数位变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要。更进一步减少总体成本。
轮廓仪的自动拼接功能:
条件: 被测区域明显大于视场的区域,使用自动图片拼接。
需要点击自动拼接, 轮廓仪会把移动路径上的拍图自动拼接起来。
软件会自适应计算路径上移动的偏差,自动消除移动中偏差,减小误差。
但是误差是一定存在的。
白光轮廓仪的典型应用:
对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
NanoX-8000的XY光栅分辨率 0.1um,定位精度 5um,重复精度 1um。
我们的轮廓仪有什么优势呢
世界先进水平的产品技术
合理的产品价格
24小时到现场的本地化售后服务
无偿产品技术培训和应用技术支持
个性化的应用软件服务支持
合理的保质期后产品服务
更佳的产品性价比和更优解决方案
非接触式轮廓仪(光学轮廓仪)是以白光干涉为原理制成的一款高精度微观形貌测量仪器,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。(本段来自网络) 传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节.干涉测量轮廓仪用途
轮廓仪可用于:散热材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、医药新技术,微流控器件。Nano X-3000轮廓仪当地价格
我们应该如何正确使用轮廓仪?
一、准备工作
1.测量前准备。
2.开启电脑、打开机器电源开关、检查机器启动是否正常。
3.擦净工件被测表面。
二、测量
1.将测针正确、平稳、可靠地移动在工件被测表面上。
2.工件固定确认工件不会出现松动或者其它因素导致测针与工件相撞的情况出现
3.在仪器上设置所需的测量条件。
4.开始测量。测量过程中不可触摸工件更不可人为震动桌子的情况产生。
5.测量完毕,根据图纸对结果进行分析,标出结果,并保存、打印。
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