日本KASHIYAMA MU180P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU180P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
3000 |
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达到压力(Pa) |
5.0 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
1.0KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
360×408×715 |
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质量【kg】 |
130kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU180P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 买日本KASHIYAMA干式真空泵选择浚和(上海)仪器有限公司。上海KASHIYAMA干式真空泵中国授权代理商

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
苏州NEODRY 36E干式真空泵浚和(上海)仪器有限公司主营干式真空泵。

评价有两个指标:可燃物质的闪点及燃点。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有摩擦,所以不会产生电火花,就没有了火源,另外其通过自身的冷却系统降低泵内温度使被抽物质的燃点难以达到,从而杜绝!泵内既无与外界之间的轴封又无泵腔与冷却循环水回路之间的密封,因此可以抽除有害介质。绝大部分泵的故障都是由轴封处磨损造成的,而此泵每个轴只有一处无接触密封,不存在由轴封损伤带来的停机,以及轴封泄露造成齿轮箱里的油被抽到泵里,造成真空环境及排气口污染。
日本KASHIYAMA MU600P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU600P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
10000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.95KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
350×520×630 |
|
质量【kg】 |
130kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU600P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。

干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您知道吗?苏州NEODRY 36E干式真空泵
干式真空泵的无油环保特点成为了他的一个重要因素。上海KASHIYAMA干式真空泵中国授权代理商
日本KASHIYAMA SDE30N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE30N20 |
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MAX排气速度(L/min) |
50000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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消费电力(KW) |
3.3KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE30N20主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 上海KASHIYAMA干式真空泵中国授权代理商
浚和(上海)仪器有限公司创立于2018-10-09,是一家贸易型公司。公司自成立以来,以质量为发展,让匠心弥散在每个细节,公司旗下[ "真空泵", "喷雾干燥机", "培养箱", "等离子清洗机" ]深受客户的喜爱。公司注重以质量为中心,以服务为理念,秉持诚信为本的理念,打造仪器仪表质量品牌。在社会各界的鼎力支持下,经过公司所有人员的努力,公司自2018-10-09成立以来,年营业额达到2000-3000万元。
干式真空泵与油泵的性能比较项目NeoDrySeries干式真空泵油泵特征○・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。△・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。(根据使用情况,需要频繁更换)维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少,O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触,无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。(使用氟油的情况费用较高)・需要更换叶片及阀门。(因叶片为接触式)初始投...