北京MU100X干式真空泵授权代理

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

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当您选择油封泵时，您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、挡油阱、挡板等，也能达到清洁真空要求。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。当选择油封真空泵时，要考虑真空泵排出来的油蒸汽（油烟）对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，应该选无油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。 干式真空泵的系列有很多种。

干式真空泵的种类特征

螺杆式

利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。

罗茨式

在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。

爪式

复数的爪型Rotor以轴平行排列，进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。

涡旋式

利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。

隔膜式

藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。

活塞式

利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。

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