但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件,所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质,一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态,没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了?答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统,可以调整泵腔内及转子的温度,使之没有离子形式存在,全都气化,从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢,不做任何涂层,降低了成本,增加了安全性能。 浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵生产。广州樫山干式真空泵

干式真空泵与油泵的性能比较:
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项 目 |
NeoDry Series 干式真空泵 |
油 泵 |
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特 征 |
○ |
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。 |
△ |
・使用油密封得不到干净的真空。 ・排气时会在排气口产生油雾。 ・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。 ・泵的周围会因油雾污染环境。 |
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维护性 |
○ |
・基本上免维护 |
△ |
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。 (根据使用情况,需要频繁更换) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。 |
△ |
・油需定期更换产生费用。 (使用氟油的情况费用较高) ・需要更换叶片及阀门。 (因叶片为接触式) |
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初始投资成本 |
△ |
・与油泵相比相对较高。 |
○ |
・与干泵相比较便宜。 |
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**设备费用 |
○ |
・不需要油雾凝气阀 |
△ |
・需要油雾凝气阀。 ・需要油盘。 广州樫山干式真空泵干式真空泵的系列有:多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。 |

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):
① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
2、系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
日本KASHIYAMA MU100P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU100P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
1660 |
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达到压力(Pa) |
3.0 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
0.7KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
350×360×630 |
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质量【kg】 |
70kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU100P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本 Kashiyama Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。

当您选择油封泵时,您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等,也能达到清洁真空要求。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足工艺要求。当选择油封真空泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。 那么干式真空泵的优势都有哪些呢?北京MU180X干式真空泵维修点
干式真空泵的不同系列会有不同的优势。广州樫山干式真空泵
日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU1200P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
20000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
1.05KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
380×655×820 |
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质量【kg】 |
185kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU1200P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本 广州樫山干式真空泵
浚和(上海)仪器有限公司创立于2018-10-09,总部位于上海市,是一家仪器仪表、电气设备、环保设备、机械设备及配件、化工产品及原料(除危险化学品、监控化学品、民用物品、易制毒化学品)的销售,从事货物及技术的进出口业务,从事电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,机械设备的维修。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】的公司。公司自2018-10-09成立以来,投身于真空泵,喷雾干燥机,培养箱,等离子清洗机,是仪器仪表的主力军。浚和不断开拓创新,追求***,以技术为先导,以产品为平台,以应用为**,以服务为保障,不断为客户创造更高价值,提供更优服务。浚和始终关注自身,在风云变化的时代,我们对自身的建设毫不懈怠,高度的专注与执着使我们在行业的从容而自信。
近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高,真空度上不去,叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换,用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车,而且由于腐蚀真空度上不去,排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱,但是影响生产,一个班组的人都 等着泵修好,下面的人瞪着眼看着,上面领导脸色又不好,很是尴尬难受!因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵,干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,提高了产品的性能和质量。干式...