日本KASHIYAMA SDE30N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDE30N20 |
MAX排气速度(L/min) |
50000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
消费电力(KW) |
3.3KW |
外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE30N20主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 干式真空泵的主要特点是:清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。NEODRY 36E干式真空泵维修
日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
式样 |
SDE120TX |
ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
达到压力(Pa) |
1.3 |
电源电压 |
3相 AC200-220V |
消费电力(KW) |
6.5KVA |
吸气口 |
NW50 |
排气口 |
NW40 |
外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
苏州NEODRY 60E干式真空泵正规代理干式真空泵的好处都有:清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。
干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
樫山真空集中了经半导体,液晶行业等所研发的技术,针对一般工业应用
开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。
Ⅱ,特 征
ⅰ) 采用多段ROOTS方式 (抽气部分为非物理性接触构造),
不会因长时间的运行导致设备性能下降。
ⅱ) 保养周期长,因需更换的零件少,可降低后期保养费用。
iii ) 通过选购气镇阀,使设备具有水汽排气性能。
干式真空泵的多种系列总有一款是您满意。
日本KASHIYAMA NEODRY 7E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 7E技术参数:
式样 |
NEODRY 7E |
MAX排气速度(L/min) |
110 |
达到压力(Pa) |
1 |
电源电压 |
单相AC200-220V |
外型尺寸WHL [mm] |
196×219×360 |
吸气口 |
KF40 |
噪声 |
≤60DB |
排气口 |
KF25 |
质量【kg】 |
54kg |
二、NEODRY7E 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
NEODRY 7E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
6 |
入口过滤器(选配) |
|
未包含 浚和(上海)仪器有限公司提供日本KASHIYAMA 7m³/h到2500m³/h的干式真空泵。成都NEODRY 30E干式真空泵维修点 |
您知道浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵系列都有哪些吗?NEODRY 36E干式真空泵维修
KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX技术参数:
型 号 项 目 |
SDE603TX |
|
注1)MAX排气速度 |
10000 L/min |
|
注1)极限压力 |
0.5 Pa |
|
加速时间 加速時間 |
35s |
|
减速时间 減速時間 |
Free Run |
|
MAX进气口压力 |
大 气 压 注2)在3~30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内 |
|
MAX排气背压(计示压力) |
3kPa以下 |
|
电机输出功率 |
3.1kW |
|
进气口(法兰) |
ISO100 |
|
排气口(法兰) |
NW25 |
|
润滑油量 |
1.2L(含氟油) |
|
|
||
电 源 |
电 压 |
3相、200~220V 50/60 Hz 注3) 允许电压变动值 ±10% |
容 量 |
10.5 kVA |
|
运行电流 |
50A |
|
漏电流 |
约30 mA |
|
冷却水 |
MAX供压 (计示压力) |
0.5MPa |
**小压差
|
0.3MPa |
|
流 量 |
4~8 L/min |
|
供水温度 |
10~25 ℃ |
|
放出热量 |
约 1800kJ/h |
|
注4) 氮 气 |
向干泵供给压 (规压) |
0.1~0.7MPa |
流 量 |
0~80SLM NEODRY 36E干式真空泵维修 |
浚和(上海)仪器有限公司位于上海市,创立于2018-10-09。公司业务分为真空泵,喷雾干燥机,培养箱,等离子清洗机等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供质量的产品和服务。公司秉持诚信为本的经营理念,在仪器仪表深耕多年,以技术为先导,以自主产品为重点,发挥人才优势,打造仪器仪表质量品牌。浚和立足于全国市场,依托强大的研发实力,融合世界前沿的技术理念,飞快响应客户的变化需求。
干式真空泵与油泵的性能比较项目NeoDrySeries干式真空泵油泵特征○・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。△・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。(根据使用情况,需要频繁更换)维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少,O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触,无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。(使用氟油的情况费用较高)・需要更换叶片及阀门。(因叶片为接触式)初始投...