干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
浚和(上海)仪器有限公司作为上海一家专业的干式真空泵供应商。常州NEODRY 60E干式真空泵

通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度,从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应;轻松的输送腐蚀性介质,安全的输送易燃易爆气体。1)清洁环保;2)真空度高;3)防腐设计(**技术);4)可抽除可凝性气体及少量粉尘气体(**技术);5)特殊轴封设计,杜绝被抽介质与润滑系统互相污染;6)防过载设计;7)运转平稳;8)高标准配置;9)附件配置齐全10)质量健全的零配件供应。 广州NEODRY 60E干式真空泵报价浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵系列有Neodry系列、MU系列、SDE系列等。

日本KASHIYAMA NEODRY 30E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 30E技术参数:
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式样 |
NEODRY 30E |
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MAX排气速度(L/min) |
500 |
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达到压力(Pa) |
1 |
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电源电压 |
单相AC200-220V |
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外型尺寸WHL [mm] |
210×250×450 |
|
吸气口 |
KF40 |
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噪声 |
≤60DB |
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排气口 |
KF25 |
|
质量【kg】 |
25kg |
二、NEODRY30E 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
NEODRY 30E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
|
5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
|
6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
日本KASHIYAMA NEODRY 60E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 60E技术参数:
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式样 |
NEODRY 60E |
|
ZUI大排气速度(L/min) |
1000 |
|
达到压力(Pa) |
1 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V OR 单相AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.35KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
315×275×570 |
|
吸气口 |
KF40 |
|
噪声 |
≤60DB |
|
排气口 |
KF25 |
|
质量【kg】 |
56kg |
二、NEODRY60E 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
NEODRY 60E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
|
5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
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6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
买日本樫山工业干式真空泵选择浚和(上海)仪器有限公司。

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项 目 |
NeoDry Series Roots多段式干泵 |
涡旋式泵 |
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特 征 |
○ |
・采用多段Roots方式抽气部分无物理接触即使长时间运行也不会发生性能退化 |
△ |
・泵内滑动部的真空密封采用接触式的密封垫。因接触式密封会发生磨损。 |
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维护性 |
○ |
・基本免维护 |
△ |
・需要定期的密封垫O/H(每年) (根据具体使用,有需要频繁更换的可能。) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更换部件。 |
△ |
・每年需要维护。 ・密封垫贵 ・疏忽定期维护导致密封垫磨损加剧影响密封效果。另外回旋涡旋与固定涡旋接触,需要更换主要部件。 |
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水蒸气排气能力 |
○ |
・水蒸气排气能力高。 350g/hr/250g/hr (NeoDry36C/30C、15C) ・气镇阀对到达压力性能的影响小。 (有气镇阀时:2Pa以下) |
△ |
・泵结构上不适合水蒸气排气。 25g/day(1g/hr) 一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您了解吗?广州NEODRY 60E干式真空泵报价 |
浚和(上海)仪器有限公司主营干式真空泵。常州NEODRY 60E干式真空泵
日本KASHIYAMA MU100X 技术参数以及配置清单
一、MU100X技术参数:
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式样 |
MU100X |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1660 |
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达到压力(Pa) |
1.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.35KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
230×275×450 |
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质量【kg】 |
60kg |
二、MU100X配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU100X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
常州NEODRY 60E干式真空泵
浚和(上海)仪器有限公司创立于2018-10-09,总部位于上海市,是一家仪器仪表、电气设备、环保设备、机械设备及配件、化工产品及原料(除危险化学品、监控化学品、民用物品、易制毒化学品)的销售,从事货物及技术的进出口业务,从事电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,机械设备的维修。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】的公司。浚和拥有一支经验丰富、技术创新的专业研发团队,以高度的专注和执着为客户提供真空泵,喷雾干燥机,培养箱,等离子清洗机。浚和致力于把技术上的创新展现成对用户产品上的贴心,为用户带来***体验。浚和创始人揭志文,始终关注客户,以优化创新的科技,竭诚为客户提供极好的服务。
近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高,真空度上不去,叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换,用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车,而且由于腐蚀真空度上不去,排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱,但是影响生产,一个班组的人都 等着泵修好,下面的人瞪着眼看着,上面领导脸色又不好,很是尴尬难受!因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵,干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,提高了产品的性能和质量。干式...