干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
干式真空泵的系列有很多种。常州NEODRY 15E干式真空泵价格

日本KASHIYAMA MU1218X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
MU1218X |
|
MAX排气速度(L/min) |
20000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
O.9KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
870×380×751 |
|
质量【kg】 |
270kg |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU1218X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 东莞MU100X干式真空泵正规代理一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您了解吗?

螺杆式干式真空泵的应用
螺杆式干式真空泵广应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产***SMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,移除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药品中间体,为人造组织生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等。应用范围极为广。具体如下:
具体应用:干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、油气回收、工厂普通真空、电子、真空镀膜、航空、核工业领域 能够抽除普通空气,易燃易爆气体、腐蚀性气体,尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。 具体应用:真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。
纺织、冶金等行业 在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵, 具体应用:真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。
日本KASHIYAMA MU600P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
MU600P/H |
|
MAX排气速度(L/min) |
10000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.95KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
350×520×630 |
|
质量【kg】 |
130kg |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU600P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 浚和(上海)仪器有限公司专业干式真空泵供应商。

日本KASHIYAMA SDL20E60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDL20E60 |
|
MAX排气速度(L/min) |
40000 |
|
达到压力(Pa) |
0.8 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
外型尺寸WHL [mm] |
850×1295×1370 |
|
重量(kg) |
800 |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDL20E60主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您知道吗?广州SDL12E50干式真空泵维修
对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。常州NEODRY 15E干式真空泵价格
产品介绍:KASHIYAMA为客户降低真空泵使用成本付出长期不懈的努力,NeoDry Series小型空冷多级干式罗茨真空泵由此诞生。所抽气体为洁净空气或氮气时,维护周期长达三年。广泛应用于电子半导体、锂电池、医药生物、化学材料等领域。
主要参数:
1. 采用空冷式设计降温
2. 转子与内腔非接触式物理构造设计
3. *Zui大排气速度110L/min
4. 极限真空泵5Pa(气镇阀关闭状态)
5. 选配气镇阀后,可排出水与有机溶液,Zui大水份处理量120g/hour
6. *远程或联动输出端子
7. 电动机功率:0.4kW
8. 噪音小于65dB(A)
9. 吸气口径:NW25 排气口径:NW25
10. 重量 20KG
11. 电源电压 单相AC220V
12. 外尺寸:196W x 360L x 219Hmm
基本配置:
1. 主机 一台
2. 选程起动端子 一个
3. 电源线 1.5m 一根
4. 说明书 一本 常州NEODRY 15E干式真空泵价格
浚和(上海)仪器有限公司致力于仪器仪表,是一家贸易型公司。公司自成立以来,以质量为发展,让匠心弥散在每个细节,公司旗下真空泵,喷雾干燥机,培养箱,等离子清洗机深受客户的喜爱。公司秉持诚信为本的经营理念,在仪器仪表深耕多年,以技术为先导,以自主产品为重点,发挥人才优势,打造仪器仪表良好品牌。在社会各界的鼎力支持下,持续创新,不断铸造***服务体验,为客户成功提供坚实有力的支持。
排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。(根据使用情况,需要频繁更换)维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少,O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触,无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。(使用氟油的情况费用较高)・需要更换叶片及阀门。(因叶片为接触式)初始投资成本△・与油泵相比相对较高。○・与干泵相比较便宜。配套设备费用○・不需要油雾凝气阀△・需要油雾凝气阀。・需要油盘。浚和(上海)仪器科技有限公司为您提...