广州SDL12E50干式真空泵

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

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两年的备品备件是标准的O型圈。从上至下的输送方式能可靠地处理夹带液体的湿气及粉尘，并且无需过滤器。比较好化的螺杆外形设计使功率消耗降到比较低，简单的设计可使泵腔在1小时内在现场全部解体，易于清洗维护。很多泵转子卡死的原因是吸入含有粉尘及结晶的物质、高温发生聚合的物质、热敏性物质的升华造成转子间的缝隙被堵死，另外一个原因是由于长期运转，转子会由于热胀冷缩而发生形变，造成泵的卡死。目前市面上的干泵多用夹套冷却水对转子进行冷却。 成都MU180X干式真空泵维修点上海干式真空泵批发推荐浚和（上海）仪器有限公司。

但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件，所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质，一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态，没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了？答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统，可以调整泵腔内及转子的温度，使之没有离子形式存在，全都气化，从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢，不做任何涂层，降低了成本，增加了安全性能。

日本KASHIYAMA MU180X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

二、 配置清单：

设备原产地：日本 

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近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高，真空度上不去，叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换，用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车，而且由于腐蚀真空度上不去，排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱，但是影响生产，一个班组的人都等着泵修好，下面的人瞪着眼看着，上面领导脸色又不好，很是尴尬难受！因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵，干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。广州SDL12E50干式真空泵

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