工业烤箱基本参数
  • 产地
  • 安徽合肥
  • 品牌
  • 合肥真萍电子科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 是否定制
工业烤箱企业商机

下面为大家介绍一下石墨盘烤盘炉

一.产品介绍

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。

二、设计特点

1、后门设计热风电机

2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向

3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的

三、技术指标

1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;

2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;

4、加热元件:石墨加热棒;

5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;

6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;

7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;

9、极限真空: 10-3torr级;

10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr

11、升温功率:170kW;

12、升温速率:15℃/min(空载);

13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高) 选用定制工业烤箱有哪些好处呢?合肥真萍科技为您介绍。大工业烤箱批发

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电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。

柜体规格、配备:

1.左右双开门,3mm钢化玻璃,1mm厚不锈钢板,气密式隐藏锁把手。

2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭,脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。

3. 附高载重不锈钢隔板,柜体加装高载重煞车轮。

4.上掀式气密盖,方便 FFU保养及维修。

5.回风循环设计,单向氮气循环不产生紊流。

6.背面气密开门式设计,方便洁净清理与保养。

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中温气氛箱式炉主要用于磷酸铁锂正极材料等类似产品的高温烧结、热处理。

一、热工系统

1.额定温度 800℃

2.较高温度 850℃

3.加热元件 陶瓷外丝加热管

4.加热功率 18kw

5.空炉保温功率 约 9kw

6.温区个数 1 个

7.控温点数 2 点

8.热偶 K 分度

9.控温稳定度 ±1℃(恒温平台)

10.炉膛温度均匀度 ±6℃(恒温 800℃,1h)

二、气氛系统

1.炉膛气氛 2 路氮气,流量计量程为 2~20L/min;每路流量可调节

2.排气系统 在炉膛顶部设置一个排气囱,用于废气排放,废气

3.经过水封清洗后进入大气中,减少对环境污染

4.氧含量 配氧含量分析仪分析氧含量:

5.高温状态氧含量≤10ppm+气源氧含量

6.低温状态氧含量≤50ppm+气源氧含量

三、冷却系统

1.冷却结构 无

2.产品降温 随炉降温

3.安全保护

4.报警指示 超温、断偶、停水、停气等声光报警保护

5.设备安全升温速率 ≤5℃/min

四、温度控制系统

1.温度测量 采用 K 分度热偶测量

2.控制仪表 采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高温

3.上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能

4.控制方式 固态继电器过零控制

5.超温处理 ⑴.当测量温度超过设定的安全值时,断加热,并报警。

⑵.当测量温度超过目标温度达到安全偏差值时,报警。

一、本产品广泛应用于航空、航天、电子、通讯等科研及生产单位。确定仪器仪表、电工产品、材料、零部件、设备等在低气压、高温单项或同时作用下的环境适应性与可靠性试验.

二、主要技术指标:

1、工作室温度范围:常温~ +300℃   用户使用温度260℃

2、温度波动度:    ±1.0℃(空载);

3、温度偏差:     常压温度试验:常温~200℃时±2℃  

200~300℃时±5.0℃

低气压高温综合试验:≤100℃时±2.0℃,

100℃~200℃时±5.0℃

200℃~300℃时±7.0℃

4、 升降温速率:

升温时间:①常压时:90min(常温~ +260℃)

    ②低气压0.0001pa时:180min(常温~ +260℃)

降温时间:3℃~10℃/min(260℃~ 120℃), 1℃~5℃/min(120℃~ 常温℃)

降温方式:水冷降温

5、试验箱承压方式:采用内承压方式

6、压力范围:     常压~0.0001Pa 工业烤箱的生产厂家名录。

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高温钟罩炉设备规格及结构

炉膛结构 :采用多晶莫来石材料砌筑而成

外形尺寸:W1300×H2200×D1510 (mm)

一、热工系统

1.1额定温度 :1550℃

1.2限制温度 :1600℃

1.3加热元件: U 型硅钼棒

1.4加热功率 :16kW

1.5空炉保温功率 ≤8kW

1.6温区个数 :1 个

1.7控温点数 :1 点

1.8热偶 :B 分度

1.9程序**精度 :±2℃(大于 600℃,升温速率≤3℃/min)

二、气氛系统

2.1炉膛气氛 :2 路空气,流量计量程为 7~70L/min;每路流量可调节

2.2排气系统: 在炉膛顶部设置一个排气*囱,用于废气排放

三、传动系统

3.1传动方式 :升降式

3.2传动类型 :电动推杆传动

3.3容积 :20L  

四、冷却系统

4.1冷却结构 :无

4.2产品降温 :随炉降温

五、安全保护

5.1升、降、停按钮 :载料台的升、降、停控制

5.2报警指示:超温、断偶、过载、超程、偏差等声光报警

5.3设备安全升温速率 ≤5℃/min

六、温度控制系统

6.1温度测量:采用 B 分度热偶测量

6.2控制方式:高性能移相调压+SCR 晶闸管模块控制

6.3限温处理 :

6.3.1当测量温度超过设定的安全值时,断加热,并报警

6.3.2当测量温度超过目标温度达到限制偏差值时,报警

6.4控制仪表:采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高 温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能 工业烤箱怎么选?合肥真萍科技告诉您。泉州工业烤箱卖

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