企业商机
干式真空泵基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • KASHIYAMA
  • 型号
  • Neodry 36E
  • 是否定制
干式真空泵企业商机

 日本KASHIYAMA NEODRY 30E 技术参数以及配置清单

一、 NEODRY 30E技术参数:

式样

NEODRY 30E

MAX排气速度(L/min

500

达到压力(Pa

1

电源电压

单相AC200-220V

外型尺寸WHL [mm]

210×250×450

吸气口

KF40

噪声

60DB

排气口

KF25

质量【kg

25kg

二、NEODRY30E 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

NEODRY 30E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选

1

标配

2

电源线

1

标配

3

产品合格证

1

标配

4

气振阀(选配)

未包含

5

消音器(选配)

未包含

6

入口过滤器(选配,非原厂件)

未包含

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干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。


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干式无油真空泵。工作泵腔无油无水,既不会对真空室产生污染,更不会污染抽取介质。且配套少,也可直排大气。虽然短期的购置投入成本超过传统真空泵,但后期的使用维护成本,干式无油真空泵却要远远低出,而且时间越久,后期成本差异就愈加明显。

干式无油螺杆真空泵是一种干式作业、无触摸、等螺距的螺杆型真空泵。两螺杆经过精密动平衡处理,由轴承支撑,设备在泵壳中,螺杆与螺杆之间有一定空隙,泵作业作业平稳,相互无冲,作业腔无介质。因此,干式无油螺杆真空泵能抽除含有许多可凝性气体及粉尘的气体,是环境友好型、节能型真空泵。它比油封式机械真空泵、液环式真空泵、往复式真空泵等型号真空泵适用性更强。

日本KASHIYAMA SDE1220干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDE1220

MAX排气速度(L/min)

20000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

外型尺寸WHL [mm]

400×780×930



二、 配置清单:



序号

描述

数量

备注

1

SDE1220主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。


干式真空泵的好处有很多。

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日本KASHIYAMA MU100X 技术参数以及配置清单

一、MU100X技术参数:

式样

MU100X

ZUI大排气速度(L/min

1660

达到压力(Pa

1.5

电源电压

3 AC200-220V

消费电力(KW

0.35KW

外型尺寸WHL [mm]

230×275×450

质量【kg

60kg

二、MU100X配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

MU100X主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)

未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)

未包含

产地:日本

浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。广州NEODRY 60E干式真空泵报价

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干式螺杆真空泵选型

干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。

每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。

选择真空机组:

了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。


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