真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。二、设计特点1、后门设计热风电机2...
真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。
洁净节能氮气柜的氮气监控系统:
1.1、2.3” LED 大屏幕数字显示湿度/温度。
1.2 、温湿度显示值0.1%-99.9%RH,温度显示值0.1℃-60.0℃。
1.3 、温湿度收集采准确传感器,长距离传输无误差。
洁净节能氮气柜的湿度控制:
2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入,到达湿度设定值即停止进气,节省氮气耗用。
2.4.2湿度在1%-60%RH 可调整。
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HMDS真空烤箱主要技术指标:
1. 机外壳采用冷扎钢板喷塑处理,内胆为不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。
2. 箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。
3. 微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显示和PID自整定功能,控温精确,可靠。
4. 智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序,温度,真空度及每一程序时间。
5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用质量材料制造,无发尘材料,适用100级光刻间净化环境。
6 HMDS管路加热功能,使HMDS液体进入箱体的前端管路加热,使转为HMDS气态时更易。
7. 低液报警装置,采用红外液体感测器,能及时灵敏给出指令(当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能)
8. 温度与PLC联动保护功能(当PLC没有启动程序时,加温功能启动不了,相反加温功能启动时,PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能,发出警报)
9.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316不锈钢材料,整体使用无缝焊接(避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害)
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下面为大家简单介绍一下洁净烘箱
本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造,普遍应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。
技术指标:
1 无尘等级:Class100:(符合FED-STD 209E标准:0.3um≤300个0.5≤100个)
2温度范围:+60℃~ +250℃(极限温度350℃)
3温度均匀性:±2℃(空箱测试)
4温度精确度:±1℃(空箱测试)
5设备型号规格:
450*450*450450*600*450600*800*600600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000;
产品名称:洁净烘箱
产品介绍:本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造,广泛应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。
技术指标:
1 无尘等级:Class100:(符合FED-STD 209E标准:0.3um≤300个0.5≤100个)
2温度范围:+60℃~ +250℃(极限温度350℃)
3温度均匀性:±2℃(空箱测试)
4温度精确度:±1℃(空箱测试)
5设备型号规格:450*450*450;450*600*450;600*800*600;600*700*600;700*900*700;
700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;
1000*1300*1000;1000*1400*1000;
箱体结构:
1烘箱总体由箱体部分,电气控制柜部分,电加热部分,风道部分,尘埃物过滤部分,
N2 进气排气及风冷部分等组装而成,结构合理,功能实用。
2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防
止微尘,内胆材料:采进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。
3保温材料:采用正厂**玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充,有效的防止了热能浪费。
4电热部分:采用进口覆套式电热器(SHEATHED HEATER)无尘无氧化电热发生器
烤箱由箱体,电气控制柜,电加热,风道,尘埃物过滤,N2 进气排气等部分组装而成,结构合理,功能实用。
高温钟罩炉设备规格及结构
炉膛结构 :采用多晶莫来石材料砌筑而成
外形尺寸:W1300×H2200×D1510 (mm)
一、热工系统
1.1额定温度 :1550℃
1.2限制温度 :1600℃
1.3加热元件: U 型硅钼棒
1.4加热功率 :16kW
1.5空炉保温功率 ≤8kW
1.6温区个数 :1 个
1.7控温点数 :1 点
1.8热偶 :B 分度
1.9程序**精度 :±2℃(大于 600℃,升温速率≤3℃/min)
二、气氛系统
2.1炉膛气氛 :2 路空气,流量计量程为 7~70L/min;每路流量可调节
2.2排气系统: 在炉膛顶部设置一个排气*囱,用于废气排放
三、传动系统
3.1传动方式 :升降式
3.2传动类型 :电动推杆传动
3.3容积 :20L
四、冷却系统
4.1冷却结构 :无
4.2产品降温 :随炉降温
五、安全保护
5.1升、降、停按钮 :载料台的升、降、停控制
5.2报警指示:超温、断偶、过载、超程、偏差等声光报警
5.3设备安全升温速率 ≤5℃/min
六、温度控制系统
6.1温度测量:采用 B 分度热偶测量
6.2控制方式:高性能移相调压+SCR 晶闸管模块控制
6.3限温处理 :
6.3.1当测量温度超过设定的安全值时,断加热,并报警
6.3.2当测量温度超过目标温度达到限制偏差值时,报警
6.4控制仪表:采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高 温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能 合肥真萍科技****,真诚推荐选择。安徽哪里有工业烤箱
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下面为大家简单介绍一下真萍科技的产品之一——洁净烘箱。
本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造,普遍应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。
技术指标:
可靠的测控系统
1温度控制装置:进口温控器,内置PID自动整定,斜率设定功能
2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出,温度采集探头为特制铠装K型热电偶
3温度监控装置:采用六通道巡回检测 有纸记录仪,可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。
完善的控制系统,及安全防护措施
1操作控制系统,采用精密电子仪器仪表结合电力拖动系统控制,更快速,更稳定。
2防护措施:紧急停止,超温保护,断线报警,相序保护,过载保护,短路保护,漏电保护,及电磁门禁保护等 安徽哪里有工业烤箱
合肥真萍电子科技有限公司是一家电子产品,电子设备及配件,半导体设备及配件,半导体耗材,办公设备研发及销售。真萍科技(真萍微电子装备)是专业从事烘烤制程设备,半导体黄光区**设备,环境与可靠性试验设备,电镀清洗设备,防潮防氧化专业设备等产品的生产和销售供应厂商,是以一批多年从事环境试验设备、防潮防氧化设备,半导体黄光区**设备,电镀清洗设备等行业的专业工程技术人员,具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。的公司,是一家集研发、设计、生产和销售为一体的专业化公司。真萍电子深耕行业多年,始终以客户的需求为向导,为客户提供***的洁净箱,干燥箱,高温无氧烤箱,隧道炉。真萍电子始终以本分踏实的精神和必胜的信念,影响并带动团队取得成功。真萍电子始终关注仪器仪表市场,以敏锐的市场洞察力,实现与客户的成长共赢。
真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。二、设计特点1、后门设计热风电机2...
厦门存储柜图片
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