实验室设备高温无氧烘箱高温充氮

C1-007厌氧高温气氛炉（YAMATO）

●用途：电子元器件高温处理工艺。

●用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异

●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围室温：+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温+50～600℃ 规格参数：

温度范围室温：室温+50～600℃

温度分布精度：±8.0℃（at 600℃）

温度上升时间：90min（室温→600℃）

温度下降时间：120min（600℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

无氧烘箱需增加氮气控制系统，加热之前先延时充氮，以此来保证加热时箱内已经形成无氧环境，避免高温氧化。实验室设备高温无氧烘箱高温充氮

在使用烘箱时需要知道的五个知识点  

    现在烘箱很多地方都能用到，但有些地方是不可以用的，用时也有很多注意事项的，下面来列举一下，在使用烘箱时常见的五个知识点，希望对您有所帮助。

  1、可燃性和挥发性的化学物品切勿放入箱内。

  2、如在使用过程中出现异常、气味、烟雾等情况，请立即关闭电源，用户切勿盲目修理，应通知本公司修理部，由专业人员查看修理。

  3、烘箱箱壁内胆和设备表面要经常擦试，以保持清洁，增加玻璃的透明度。请勿用酸、碱或其它腐蚀性溶液来擦试外表面。可选用中性洗涤剂来清洁。

  4、烘箱长期不用，应拨掉电源线以防止设备损伤。并应定期(一般一季度)按使用条件运行2-3天，以驱除电器部分的潮气，避免损坏有关器件。

  5、烘箱箱体顶部为电气控制柜，方便于集中检查维修，维修前请与我司售后联系确认。

*文章*为个人观点，不作为技术参考。具体操作请在技术人员指导下进行。 雅玛拓高温无氧烘箱DNN660C俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN660C厌氧高温气氛炉。

C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围：室温+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温室温+50～500℃ 规格参数：

温度范围：室温+50～500℃

温度分布精度：±8.0℃（a500℃）

温度上升时间：90min（室温→500℃）

温度下降时间：120min（500℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

烘箱安装要求及检查调整

1、安置地点要求：

①地面须水平

②通风须良好，落尘量较少

③不要放置在潮湿地方

④不要暴露在易燃或腐蚀性气体下（特殊烤箱除外）

⑤尽可能使可燃物远离

⑥环境温度匆过高

2、安置间隔要求：

①理想操作环境机身各方距墙60公分以上

②理想操作环境机身与机身间隔60公分以上

3、电源安装要求：

①请依电器铭板上所订之电源规格接电

②电压变动率必须在额定值±5%内

③为避免电击意外发生，机台本身必须接地（依电工法规第三种接地法实施对地电阻100Ω以下）

④不可将有漏电断路器烤箱与无此装置烤箱共用接线线路

4、水平调整：

①机台定位后，须调整水平

5、电源接线：

机台定位完成后，可由机台后方电源电缆线，并依接线端子板上之标示规格完成电源接线之工作

6、送风马达调整 气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似，其设计和计算方法相似。

高温无氧烘箱特点及用途

1、特点：

       箱壁接缝全部采用氩弧焊焊接，密封性能，能快速去氧或降温，有助于提高产品质量。可满足电子、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门作无氧化干燥的要求。

2、用途：

       厌氧烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

厌氧烘箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其它高温试验。

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高温炉加热器和屏蔽工作效率的一个简单方法，是将给定温度下热区的用电量与操作手册中列出的功耗进行比较。实验室设备高温无氧烘箱高温充氮

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