HMDS预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连...
HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸:
1. 内胆尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;
2. 载物托架:2块
3.室温+10℃-250℃ 控温范围:温度分辨率:0.1℃ 温度波动度:±0.5℃
4. 真空泵:油泵或无油真空泵。真空度:133pa,
5. 加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板(防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态)
6. 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片;6寸晶圆片;8寸晶圆片等。
7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间(正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为 常规降温)。 采用正厂**玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充,有效的防止了热能浪费。安徽工业烤箱专卖
产品名称:洁净烘箱
产品介绍:本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造,普遍应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。
技术指标:
1 无尘等级:Class100:(符合FED-STD 209E标准:0.3um≤300个0.5≤100个)
2温度范围:+60℃~ +250℃(极限温度350℃)
3温度均匀性:±2℃(空箱测试)
4温度精确度:±1℃(空箱测试)
5设备型号规格:
450*450*450450*600*450600*800*600600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000; 生产工业烤箱图片为您推荐工业烤箱的专业生产厂家。
HMDS真空烤箱主要技术指标:
1. 机外壳采用冷扎钢板喷塑处理,内胆为不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。
2. 箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。
3. 微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显示和PID自整定功能,控温精确,可靠。
4. 智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序,温度,真空度及每一程序时间。
5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用质量材料制造,无发尘材料,适用100级光刻间净化环境。
6 HMDS管路加热功能,使HMDS液体进入箱体的前端管路加热,使转为HMDS气态时更易。
7. 低液报警装置,采用红外液体感测器,能及时灵敏给出指令(当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能)
8. 温度与PLC联动保护功能(当PLC没有启动程序时,加温功能启动不了,相反加温功能启动时,PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能,发出警报)
9.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316不锈钢材料,整体使用无缝焊接(避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害)
一、本产品广泛应用于航空、航天、电子、通讯等科研及生产单位。确定仪器仪表、电工产品、材料、零部件、设备等在低气压、高温单项或同时作用下的环境适应性与可靠性试验.
二、主要技术指标:
1、工作室温度范围:常温~ +300℃ 用户使用温度260℃
2、温度波动度: ±1.0℃(空载);
3、温度偏差: 常压温度试验:常温~200℃时±2℃
200~300℃时±5.0℃
低气压高温综合试验:≤100℃时±2.0℃,
100℃~200℃时±5.0℃
200℃~300℃时±7.0℃
4、 升降温速率:
升温时间:①常压时:90min(常温~ +260℃)
②低气压0.0001pa时:180min(常温~ +260℃)
降温时间:3℃~10℃/min(260℃~ 120℃), 1℃~5℃/min(120℃~ 常温℃)
降温方式:水冷降温
5、试验箱承压方式:采用内承压方式
6、压力范围: 常压~0.0001Pa 合肥真萍科技简述工业烤箱规范标准。
真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。
洁净节能氮气柜的氮气监控系统:
1.1、2.3” LED 大屏幕数字显示湿度/温度。
1.2 、温湿度显示值0.1%-99.9%RH,温度显示值0.1℃-60.0℃。
1.3 、温湿度收集采准确传感器,长距离传输无误差。
洁净节能氮气柜的湿度控制:
2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入,到达湿度设定值即停止进气,节省氮气耗用。
2.4.2湿度在1%-60%RH 可调整。
工业烤箱的运作原理是什么?安徽小型工业烤箱
合肥真萍科技为您提供专业的售后服务!安徽工业烤箱专卖
仪器仪表行业飞速发展一是因为我国的经济高速稳定发展的运行;按照过去的经验,如果GDP的增长在10%以上时,仪表行业的增长率则在26%~30%之间。二是因为我国宏观调控对仪表行业的影响有一个滞后期,仪表往往在工程的后期才交付使用,因此,因宏观调控政策而减少的收入对仪表行业的影响不会太大。我国现有有限责任公司企业数千多家,已经形成门类品种比较齐全,具有一定技术基础和生产规模的产业体系。但同时业内行家也指出,虽然我国测试仪器产业有了一定的发展,但远远不能满足国民经济各行各业日益增长的迫切需求。工业领域转型升级、提升发展质量等有利于仪器仪表行业的发展;**安全、社会安全、产业和信息安全等需要自主、洁净箱,干燥箱,高温无氧烤箱,隧道炉装备,成为全社会共识;中国生产型正面临百年未有之大变局,行业行家认为,中美贸易战不会有终点,中美关系时好时坏将成为常态,仪器仪表行业无法排除大局势的影响,且不要把问题聚焦在关税上。中国经济的高速发展得益于WTO框架下的全球化分工;现在中国制造的竞争力在于工业门类齐全、供应链完整、供应链的高度专业和细分。安徽工业烤箱专卖
合肥真萍电子科技有限公司总部位于合肥市经济技术开发区轩辕路89号,是一家电子产品,电子设备及配件,半导体设备及配件,半导体耗材,办公设备研发及销售。真萍科技(真萍微电子装备)是专业从事烘烤制程设备,半导体黄光区**设备,环境与可靠性试验设备,电镀清洗设备,防潮防氧化专业设备等产品的生产和销售供应厂商,是以一批多年从事环境试验设备、防潮防氧化设备,半导体黄光区**设备,电镀清洗设备等行业的专业工程技术人员,具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。的公司。真萍电子深耕行业多年,始终以客户的需求为向导,为客户提供***的洁净箱,干燥箱,高温无氧烤箱,隧道炉。真萍电子始终以本分踏实的精神和必胜的信念,影响并带动团队取得成功。真萍电子始终关注自身,在风云变化的时代,对自身的建设毫不懈怠,高度的专注与执着使真萍电子在行业的从容而自信。
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