日本KASHIYAMA SDL12E50/60干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

二、 配置清单：

设备原产地：日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。 浚和（上海）仪器有限公司主营干式真空泵。南京NEODRY 60E干式真空泵价格

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等

二、 配置清单：

SDL12E50干式真空泵维修点根据您的具体需求选择不同的干式真空泵系列。

干式真空泵与油泵的性能比较：

KASHIYAMA Neodry7E真空泵技术参数

产品介绍：KASHIYAMA为客户降低真空泵使用成本付出长期不懈的努力，NeoDry Series小型空冷多级干式罗茨真空泵由此诞生。所抽气体为洁净空气或氮气时，维护周期长达三年。广泛应用于电子半导体、锂电池、医药生物、化学材料等领域。

主要参数：

1.  采用空冷式设计降温

2.  转子与内腔非接触式物理构造设计

3.  *Zui大排气速度110L/min

4.  极限真空泵5Pa(气镇阀关闭状态)

5.  选配气镇阀后，可排出水与有机溶液，Zui大水份处理量120g/hour

6.  *远程或联动输出端子

7.  电动机功率：0.4kW

8.  噪音小于65dB(A)

9.  吸气口径：NW25 排气口径：NW25

10. 重量 20KG

11. 电源电压 单相AC220V

12. 外尺寸：196W x 360L x 219Hmm

基本配置：

1.  主机 一台

2.  选程起动端子 一个

3.  电源线 1.5m 一根

4.  说明书 一本 干式真空泵的系列有：多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。

而有的立式螺杆真空泵的冷却系统更独特，比如在泵内增加了螺杆内部冷却剂冷却及直接气体冷却，很好的维持内表面的温度，不至于温度过高或过低，始终维持在一个合适的温度，以防被抽的热敏性物质分解，及高温易聚合的物质，比如HCN及MMA生产企业就比较适合。众所周知，腐蚀是由于溶液里的酸性离子和碱性离子跟金属发生反应才造成的，温度越高腐蚀的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材质或是在转子上做一些防腐涂层来延缓腐蚀速率。 浚和（上海）仪器有限公司提供小型风冷的干式真空泵。苏州NEODRY 36E干式真空泵维修

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干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

南京NEODRY 60E干式真空泵价格

浚和(上海)仪器有限公司位于上海市闵行区秀文路898号西子国际中心5号楼911室。公司业务涵盖真空泵，喷雾干燥机，培养箱，等离子清洗机等，价格合理，品质有保证。公司将不断增强企业重点竞争力，努力学习行业知识，遵守行业规范，植根于仪器仪表行业的发展。在社会各界的鼎力支持下，持续创新，不断铸造***服务体验，为客户成功提供坚实有力的支持。