日本KASHIYAMA MU1218P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU1218P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
20000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
1.4KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
870×380×751 |
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质量【kg】 |
280kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU1218P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 浚和(上海)仪器有限公司专业干式真空泵供应商。北京NEODRY 36E干式真空泵代理商

日本KASHIYAMA MU20N18X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU20N18X |
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MAX排气速度(L/min) |
30000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
1.0KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
1000×450×950 |
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质量【kg】 |
410kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU20N18X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本 常州SDE1220干式真空泵价格干式真空泵的主要特点有很多。

干式真空泵与油泵的性能比较:
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项 目 |
NeoDry Series 干式真空泵 |
油 泵 |
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特 征 |
○ |
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。 |
△ |
・使用油密封得不到干净的真空。 ・排气时会在排气口产生油雾。 ・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。 ・泵的周围会因油雾污染环境。 |
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维护性 |
○ |
・基本上免维护 |
△ |
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。 (根据使用情况,需要频繁更换) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。 |
△ |
・油需定期更换产生费用。 (使用氟油的情况费用较高) ・需要更换叶片及阀门。 (因叶片为接触式) |
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初始投资成本 |
△ |
・与油泵相比相对较高。 |
○ |
・与干泵相比较便宜。 |
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**设备费用 |
○ |
・不需要油雾凝气阀 |
△ |
・需要油雾凝气阀。 ・需要油盘。
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两年的备品备件是标准的O型圈。从上至下的输送方式能可靠地处理夹带液体的湿气及粉尘,并且无需过滤器。比较好化的螺杆外形设计使功率消耗降到比较低,简单的设计可使泵腔在1小时内在现场全部解体,易于清洗维护。很多泵转子卡死的原因是吸入含有粉尘及结晶的物质、高温发生聚合的物质、热敏性物质的升华造成转子间的缝隙被堵死,另外一个原因是由于长期运转,转子会由于热胀冷缩而发生形变,造成泵的卡死。目前市面上的干泵多用夹套冷却水对转子进行冷却。 对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。

日本KASHIYAMA NEODRY 300E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 15E技术参数:
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式样 |
NEODRY 300E |
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Max排气速度(L/min) |
5000 |
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达到压力(Pa) |
0.3 |
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电源电压 |
单相AC200-220V |
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外型尺寸WHL [mm] |
304×575×574 |
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吸气口 |
KF50 |
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噪声 |
≤72DB |
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排气口 |
KF25 |
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质量【kg】 |
125kg |
二、NEODRY 300E 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
NEODRY 300E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
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5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
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6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。常州NEODRY 30E干式真空泵维修
半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.北京NEODRY 36E干式真空泵代理商
干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
北京NEODRY 36E干式真空泵代理商
浚和(上海)仪器有限公司是一家仪器仪表、电气设备、环保设备、机械设备及配件、化工产品及原料(除危险化学品、监控化学品、民用物品、易制毒化学品)的销售,从事货物及技术的进出口业务,从事电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,机械设备的维修。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】的公司,致力于发展为创新务实、诚实可信的企业。浚和拥有一支经验丰富、技术创新的专业研发团队,以高度的专注和执着为客户提供真空泵,喷雾干燥机,培养箱,等离子清洗机。浚和继续坚定不移地走高质量发展道路,既要实现基本面稳定增长,又要聚焦关键领域,实现转型再突破。浚和创始人揭志文,始终关注客户,创新科技,竭诚为客户提供良好的服务。
干式螺杆真空泵选型干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。选择真空机组:了解被抽气体成分,气体中含不含 可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无...