干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
干式真空泵的优势您了解多少呢?NEODRY 30E干式真空泵

日本KASHIYAMA SDE1203X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE1203X |
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MAX排气速度(L/min) |
20000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
2.0KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
400×905×900 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE1203X主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 常州SDL12E50干式真空泵现货浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。

日本KASHIYAMA SDE20M20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE20M20 |
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MAX排气速度(L/min) |
30000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE20M20主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
日本KASHIYAMA MU20M18X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU20M18X |
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MAX排气速度(L/min) |
30000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
1.5KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
500×950×1100 |
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质量【kg】 |
340kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU20M18X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 干式真空泵的好处有很多。

日本KASHIYAMA SDE303X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE303X |
|
MAX排气速度(L/min) |
5000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
1.5KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
400×905×760 |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE303X主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 干式真空泵的不同系列会有不同的优势。广州KASHIYAMA干式真空泵价格
浚和(上海)仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。NEODRY 30E干式真空泵
日本KASHIYAMA MU100X 技术参数以及配置清单
一、MU100X技术参数:
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式样 |
MU100X |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1660 |
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达到压力(Pa) |
1.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
0.35KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
230×275×450 |
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质量【kg】 |
60kg |
二、MU100X配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU100X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
NEODRY 30E干式真空泵
浚和(上海)仪器有限公司总部位于上海市闵行区秀文路898号西子国际中心5号楼911室,是一家仪器仪表、电气设备、环保设备、机械设备及配件、化工产品及原料(除危险化学品、监控化学品、民用物品、易制毒化学品)的销售,从事货物及技术的进出口业务,从事电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,机械设备的维修。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】的公司。浚和深耕行业多年,始终以客户的需求为向导,为客户提供***的真空泵,喷雾干燥机,培养箱,等离子清洗机。浚和始终以本分踏实的精神和必胜的信念,影响并带动团队取得成功。浚和始终关注仪器仪表市场,以敏锐的市场洞察力,实现与客户的成长共赢。
干式真空泵是一种无油运行的真空设备,广泛应用于半导体、医药、化工等领域。与传统油封式真空泵相比,干式泵无需使用润滑油,避免了油蒸气污染,特别适合洁净度要求高的工艺环境。其优势在于能够提供干燥、洁净的真空环境,同时减少维护成本。由于没有油液参与工作,干式泵在长时间运行中稳定性更高,且不会因油液老化导致性能下降。此外,干式真空泵的结构设计通常更为紧凑,适合空间受限的工业场景。干式真空泵的工作原理主要依靠机械运动部件直接抽气,无需任何工作液体。常见的类型包括螺杆式、爪式、涡旋式等。这些泵通过精密的转子配合或涡旋运动,实现气体的压缩和排出。由于没有油液润滑,干式泵的材质选择尤为关键,通常采用耐磨、耐高...