广州MU100X干式真空泵中国授权代理商

近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高，真空度上不去，叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换，用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车，而且由于腐蚀真空度上不去，排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱，但是影响生产，一个班组的人都等着泵修好，下面的人瞪着眼看着，上面领导脸色又不好，很是尴尬难受！因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵，干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。浚和（上海）仪器有限公司提供小型风冷的干式真空泵。广州MU100X干式真空泵中国授权代理商

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

成都MU100X干式真空泵维修点浚和（上海）仪器有限公司为日本KASHIYAMA干式真空泵中国区授权代理商。

为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。此为立式双螺杆干式真空泵，它的吸气和排气原理和大多数是一样的，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。干式真空泵工作时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于螺杆制成变螺距结构，与等螺距结构相比，极限真空更高，而消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等

二、 配置清单：

樫山工业Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。

日本KASHIYAMA SDE8060干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

设备原产地：日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

浚和（上海）仪器有限公司销售干式真空泵价格低廉。无锡SDE1220干式真空泵中国授权代理商

干式真空泵的优点有很多。广州MU100X干式真空泵中国授权代理商

有点真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的干式螺杆真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，他能是真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求 有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多凝性气体的系统。无油涡旋真空泵选型。无油涡旋真空泵结构简单、具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，工作压力范围宽；动静涡旋盘之间间隙小、泄漏少，由于压缩腔容积的变化是连续的，因而驱动扭矩变化小，功率变化小,振动噪声低，可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。广州MU100X干式真空泵中国授权代理商

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