上海高温无氧烘箱保养

C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围：室温+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温室温+50～500℃ 规格参数：

温度范围：室温+50～500℃

温度分布精度：±8.0℃（a500℃）

温度上升时间：90min（室温→500℃）

温度下降时间：120min（500℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

高温充氮烘箱带有氮气或惰性其他保护装置，在高温的烘烤环境下，实现低氧或无氧的工作环境。上海高温无氧烘箱保养

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

特点

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。 重庆高温无氧烘箱规格参数洁净厌氧高温气氛炉采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境进行高温烘烤。

在使用烘箱时需要知道的五个知识点  

    现在烘箱很多地方都能用到，但有些地方是不可以用的，用时也有很多注意事项的，下面来列举一下，在使用烘箱时常见的五个知识点，希望对您有所帮助。

  1、可燃性和挥发性的化学物品切勿放入箱内。

  2、如在使用过程中出现异常、气味、烟雾等情况，请立即关闭电源，用户切勿盲目修理，应通知本公司修理部，由专业人员查看修理。

  3、烘箱箱壁内胆和设备表面要经常擦试，以保持清洁，增加玻璃的透明度。请勿用酸、碱或其它腐蚀性溶液来擦试外表面。可选用中性洗涤剂来清洁。

  4、烘箱长期不用，应拨掉电源线以防止设备损伤。并应定期(一般一季度)按使用条件运行2-3天，以驱除电器部分的潮气，避免损坏有关器件。

  5、烘箱箱体顶部为电气控制柜，方便于集中检查维修，维修前请与我司售后联系确认。

*文章*为个人观点，不作为技术参考。具体操作请在技术人员指导下进行。

DNN660C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

      ①使用温度范围：室温+50～600℃

      ②温度调节精度：±1.0℃（at600℃）

      ③温度分布精度：±8.0℃（at600℃） 

      ④MAX温度到达时间：约110分钟

      ⑤氧浓度：20ppm 以下

      ⑥氧浓度到达时间：≤ 25分（250L/min 氮气）

3、构成：

       ①内装：不锈钢板

       ②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

       ③断热材：硅酸铝棉

       ④加热方式：不锈钢加热管

       ⑤加热功率：主加热器14.2KW

       ⑥N2预热：1KW

       ⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

       ①温度控制方式：PID控制

       ②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

       ③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

       ④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

       ⑤附加功能：操作员等级认证

       ⑥加热器回路控制：SSR驱动

       ⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 买日本YAMATO光刻胶烤箱选择浚和（上海）仪器有限公司。

DTN430C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

规格：

①内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

②外形尺寸（宽×深×高mm）：1090×950×1540

③内容积：91L

④棚板层数/层间距：12层/30mm

⑤排气口：40KF法兰

⑥氮气入口：Rc1/2

⑦冷却水入口：Rc3/4

⑧热水出口：Rc3/4，2个

⑨电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 16A

⑩重量：约900kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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固化聚酰亚胺（PI）选择YAMATO光刻胶烤箱。上海高温无氧烘箱保养

烘箱加热管的选择

       这边介绍主要用于烘箱的风道式加热器，可以采用碳钢材质、也可以采用不锈钢304材质或者316材质。可以根据客户烘烤的产品选择加热管的材质，正常情况下一般用碳钢材质或者不锈钢304材质，若客户烘烤产品带有弱酸碱性液体的，可以采用不锈钢316材质。若液体中有强酸的，就应该采用不锈钢316、聚四氟乙烯。

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浚和(上海)仪器有限公司主要经营范围是仪器仪表，拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。浚和致力于为客户提供良好的真空泵，喷雾干燥机，培养箱，等离子清洗机，一切以用户需求为中心，深受广大客户的欢迎。公司将不断增强企业重点竞争力，努力学习行业知识，遵守行业规范，植根于仪器仪表行业的发展。浚和立足于全国市场，依托强大的研发实力，融合前沿的技术理念，飞快响应客户的变化需求。