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上海MU100X干式真空泵授权代理

完全电子智能化设计，可以很方便地多方位与DCS系统联接，通过Modem联接可以实现就地和远程控制；辅助模块的模块化设...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

完全电子智能化设计，可以很方便地多方位与DCS系统联接，通过Modem联接可以实现就地和远程控制；辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用；设计可以满足不同的压力要求：压力比可高达 100,000:1 (吸入压力< 0.01 mbar 绝压)；吸气量可达1,000 m3/h (更大吸气量的泵在开发中，目前可用机械的增压泵与干式泵组合来满足对大的吸气量的要求)；噪音水平低于75Db(A)（噪音低于好轿车内部分贝）维修方便，可以快速和方便地拆卸和更换泵的内件。整机通过欧洲ATEX防爆条例认证。干式真空泵的主要特点是：清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。上海MU100X干式真空泵授权代理

日本KASHIYAMA SDE4030M20干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE4030M20
MAX排气速度（L/min）	80000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	800×1580×1320

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE4030M20主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

南京NEODRY 36E干式真空泵销售电话半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.

干式真空泵与油泵的性能比较：

项目	ＮｅｏＤｒｙ Series 干式真空泵		油泵
特征	○	・不使用液体密封泵腔，可以得到干净的真空。	△	・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。
维护性	○	・基本上免维护	△	・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。（根据使用情况，需要频繁更换）
维护成本	○	・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O / H费用便宜。・抽气部分无物理接触，无因磨损更换部件。	△	・油需定期更换产生费用。（使用氟油的情况费用较高）・需要更换叶片及阀门。（因叶片为接触式）
初始投资成本	△	・与油泵相比相对较高。	○	・与干泵相比较便宜。
**设备费用	○	・不需要油雾凝气阀	△	・需要油雾凝气阀。・需要油盘。

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单

一、技术参数：

适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等

式样	SDE120TX
ZUI大排气速度（L/min）	1500
达到压力（Pa）	1.3
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	6.5KVA
吸气口	NW50
排气口	NW40
外型尺寸WHL [mm]	280×299×550
质量【kg】	151kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE120TX主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

浚和（上海）仪器有限公司专业致力于干式真空泵生产。

日本KASHIYAMA MU20N18P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU20N18P/H
MAX排气速度（L/min）	30000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	1.5KW
外型尺寸WHL [mm]	1000×450×950
质量【kg】	410kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU20N18P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

干式真空泵的各种系列应用领域还是不一样的。深圳MU180X干式真空泵

干式真空泵的好处您了解吗？上海MU100X干式真空泵授权代理

日本KASHIYAMA MU180P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU180P/H
MAX排气速度（L/min）	3000
达到压力（Pa）	5.0
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	1.0KW
外型尺寸WHL [mm]	360×408×715
质量【kg】	130kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU180P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本上海MU100X干式真空泵授权代理

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