吉林高温无氧烘箱固化半导体晶圆

气氛炉抽真空效果不佳解决办法

一、检查气氛炉自身的密封性 

       检查一下炉壳，砌体，炉门及所有外界连接零件如风扇，热电偶，辐射管，推拉料机等处的密封性是否正常； 

二、检查气氛炉真空泵

       真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量，使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时，有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压，从而降低了抽空效能，如果是酸性气体，那就会腐蚀油泵，如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。 高温无氧烘箱工作室内充满了惰性气体CO2或者N2,形成高温、无氧或者洁净环境，防止材料在烘烤时被氧化。吉林高温无氧烘箱固化半导体晶圆

DNN460C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

外形尺寸（宽×深×高mm）：1240×1010×1750

内容积：91L

棚板层数/层间距：12层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 20A

重量：约800kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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无氧化烘箱的技术资料

       无氧化烘箱采用国家重点推广的节能环保加热新技术，通过电源使电热管加热，产生热源，当它被加热物体吸收时可直接转变为热能，从而获得快速干燥效果，达到缩短生产周期，提高产品质量的。它采用薄钢板制作，表面烤漆，工作室采用的结构钢板制作。  

       无氧化烘箱可以分为大型烘箱、高温烘箱、电热烘箱、小型烘箱等，根据条件，工业上产会选择不同的设备来进行生产。

  无氧化烘箱是一种专业用于烘烤的设备。属于烘干设备的一种。采用薄钢板制作，外面是一层油漆，烘箱内仓由结构钢板制作，能够耐高温，且不会变色。外壳与内仓之间使用硅酸铝纤维填充，底部是烘箱加热器。温度控制仪表采用数显智能表，时间控制器与报警装置相连接。使烘箱的操作更简便，快捷与有效。

  无氧化烘箱内部设有可调式分风板，可以控制烘箱内热风的风向，达到物料均匀干燥的效果。蒸汽、热水、电、热风炉都可以成为烘箱的热源的来源，而且它具有噪音小，电脑控温的特点，安装维修方便。适用范围广，可干燥各种物料。

  烘箱的主要用途是：用于医药、食品、轻工、化工、电子等行业，对物料和物品进行干燥处理。

DTN650C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

规格：

①内尺寸（宽×深×高mm）：660×500×660

②外形尺寸（宽×深×高mm）：1450×1060×1960

③内容积：216L

④棚板层数/层间距：19层/30mm

⑤排气口：40KF法兰

⑥氮气入口：Rc1/2

⑦冷却水入口：Rc3/4

⑧热水出口：Rc3/4，2个

⑨电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 27A

⑩重量：约1100kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

------------- 高温充氮烘箱在使用中干燥物品速度非常快，这是一般的烘箱所不能比的。

烘箱加热管的选择

       这边介绍主要用于烘箱的风道式加热器，可以采用碳钢材质、也可以采用不锈钢304材质或者316材质。可以根据客户烘烤的产品选择加热管的材质，正常情况下一般用碳钢材质或者不锈钢304材质，若客户烘烤产品带有弱酸碱性液体的，可以采用不锈钢316材质。若液体中有强酸的，就应该采用不锈钢316、聚四氟乙烯。

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固化聚酰亚胺（PI）选择YAMATO光刻胶烤箱。吉林高温无氧烘箱DTN650C

高温无氧烘箱烘箱的风道式加热器，可以采用碳钢材质、也可以采用不锈钢304材质或者316材质。吉林高温无氧烘箱固化半导体晶圆

DNN430C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～360℃

②温度调节精度：±0.5℃（at360℃）

③温度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX温度到达时间：约80分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 20分（250L/min 氮气）

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器6.75KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：

       门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等

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