企业商机
干式真空泵基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • KASHIYAMA
  • 型号
  • Neodry 36E
  • 是否定制
干式真空泵企业商机

樫山真空集中了经半导体,液晶行业等所研发的技术,针对一般工业应用

    开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。

  

特 征

  ) 采用多段ROOTS方式抽气部分为非物理性接触构造

          不会因长时间的运行导致设备性能下降。


   ) 保养周期长,因需更换的零件少,可降低后期保养费用。


  iii )  通过选购气镇阀,使设备具有水汽排气性能。


干式真空泵的系列有很多种。苏州NEODRY 60E干式真空泵现货

  ) 采用空气冷却,不需要冷却水。
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干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。


广州KASHIYAMA干式真空泵价格浚和(上海)仪器有限公司提供日本KASHIYAMA 7m³/h到2500m³/h的干式真空泵。

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日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch SA-CVDMetal-CVDPE-CVDLP-CVDALD

式样

SDE120TX

ZUI大排气速度(L/min

1500

达到压力(Pa

1.3

电源电压

3 AC200-220V

消费电力(KW

6.5KVA

吸气口

NW50

排气口

NW40

外型尺寸WHL [mm]

280×299×550

质量【kg

151kg

二、 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

SDE120TX主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)

未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)

未包含


日本KASHIYAMA MU600X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

MU600X

MAX排气速度(L/min)

10000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V

消费电力(KW)

0.6KW

外型尺寸WHL [mm]

230×520×530

质量【kg】

120kg


二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

MU600X主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

干式真空泵的优缺点您知道吗?

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日本KASHIYAMA SDE60N20干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDE60N20

MAX排气速度(L/min)

100000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

消费电力(KW)

3.7KW

外型尺寸WHL [mm]

515×950×1080



二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

SDE60N20主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵批发。深圳干式真空泵维修

浚和(上海)仪器有限公司主营日本KASHIYAMA干式真空泵。苏州NEODRY 60E干式真空泵现货

日本KASHIYAMA NEODRY 300E 技术参数以及配置清单

一、 NEODRY 15E技术参数:


式样

NEODRY 300E

Max排气速度(L/min)

5000

达到压力(Pa)

0.3

电源电压

单相AC200-220V

外型尺寸WHL [mm]

304×575×574

吸气口

KF50

噪声

≤72DB

排气口

KF25

质量【kg】

125kg


二、NEODRY 300E 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

NEODRY 300E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选

1

标配

2

电源线

1

标配

3

产品合格证

1

标配

4

气振阀(选配)


未包含

5

消音器(选配)


未包含

6

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含



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