樫山真空集中了经半导体,液晶行业等所研发的技术,针对一般工业应用
开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。
Ⅱ,特 征
ⅰ) 采用多段ROOTS方式 (抽气部分为非物理性接触构造),
不会因长时间的运行导致设备性能下降。
ⅱ) 保养周期长,因需更换的零件少,可降低后期保养费用。
iii ) 通过选购气镇阀,使设备具有水汽排气性能。
干式真空泵的系列有很多种。苏州NEODRY 60E干式真空泵现货

干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
广州KASHIYAMA干式真空泵价格浚和(上海)仪器有限公司提供日本KASHIYAMA 7m³/h到2500m³/h的干式真空泵。

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
|
外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
日本KASHIYAMA MU600X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU600X |
|
MAX排气速度(L/min) |
10000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.6KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
230×520×530 |
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质量【kg】 |
120kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU600X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
干式真空泵的优缺点您知道吗?
日本KASHIYAMA SDE60N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE60N20 |
|
MAX排气速度(L/min) |
100000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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消费电力(KW) |
3.7KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
515×950×1080 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE60N20主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵批发。深圳干式真空泵维修
浚和(上海)仪器有限公司主营日本KASHIYAMA干式真空泵。苏州NEODRY 60E干式真空泵现货
日本KASHIYAMA NEODRY 300E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 15E技术参数:
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式样 |
NEODRY 300E |
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Max排气速度(L/min) |
5000 |
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达到压力(Pa) |
0.3 |
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电源电压 |
单相AC200-220V |
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外型尺寸WHL [mm] |
304×575×574 |
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吸气口 |
KF50 |
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噪声 |
≤72DB |
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排气口 |
KF25 |
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质量【kg】 |
125kg |
二、NEODRY 300E 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
NEODRY 300E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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4 |
气振阀(选配) |
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未包含 |
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5 |
消音器(选配) |
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未包含 |
|
6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
苏州NEODRY 60E干式真空泵现货
航空航天领域对真空泵的性能和可靠性要求极高。从地面测试到太空模拟,干式泵能够提供稳定的真空环境,满足各种严苛条件。其无油特性特别适合航天器部件的洁净测试,避免润滑油对敏感材料的污染。此外,干式泵的轻量化设计也符合航空航天设备对重量的严格要求。许多航天实验室和制造厂已将干式真空泵列为标准设备,用于推进系统测试和材料研究。干式真空泵在环境监测仪器中扮演着关键角色。许多气体分析仪需要真空系统抽取空气样品,而干式泵能确保样品不被油蒸气污染,保证检测数据的准确性。对于挥发性有机物监测或大气成分分析,干式泵的高洁净度尤为重要。同时,干式泵的耐用性使其适合野外或移动监测站使用,能够在各种环境条件下稳定工作。...